Реактивное ионное травление кварца

Оборудование:

PlasmaPro80
PlasmaPro100
PlasmaPro800

Особенности технологии:

• реактивное ионное травление;
• процесс основан на фторной химии.
  

Результаты:

• анизотропный процесс;
• скорость травления: ~50 нм/мин;
• равномерность: +/-4%;
• селективность к Cr маске: >30:1;
• селективность к Ni маске: >80:1;
• отличный контроль ширины тренча.

Лаборатория OIPT: ширина тренча 0,3 мкм, глубиной 1 мкм.

Лаборатория OIPT: ширина тренча 0,15 мкм, глубиной 0,6 мкм.