Skip

Реактивное ионное травление InP для лазеров с распределённой обратной связью

лаборатория OIPT: глубина канавки 1.2 мкм, высокое аспектное соотношение, анизотропное травление InP на базе химии CH4/H2


Технология:

  • разряд горит между двумя параллельными пластинами
  • подача газа осуществляется через газовый душ
  • 13.56 МГц - частота плазменного разряда

Процессы:
a) при использовании газов CH4 / H2 процесс проходит при комнатной температуре
b) при использовании газов CH4 / H2 / Cl2 процесс проходит при температуре 200 °C

Результаты:

  • скорость травления : 
             a) 50 - 100 нм/мин
             b) 100 - 200 нм/мин
  • маска: фоторезист или SiO2
  • профиль: анизотропный, без подтравливания
  • горизонтальные поверхности: гладкие
  • боковая стенка с малой шероховатостью 
  • равномерность: + 5%

SEM

лаборатория OIPT:
глубина 1 мкм, анизотропное травление
аспектное соотношение 7 : 1