Skip

Алюминий (Al)


Фотография СЭМ показывает пленку Al, осажденную на кремниевые тренчи с аспектным соотношением 1 : 1 и 2 : 1. Непрерывная металлическая пленка даже в местах углов тренчей.

​PlasmaPro 100
​PlasmaPro 400
​Скорость напыления​> 200 нм/мин​> 20 нм/мин
​Равномерность​< ± 15% (размер мишени - 250 мм)​± 5% (размер мишени 200 мм)
​Размер единичной подложки​до 200 мм​до 150 мм
Размер партии пластин​-​4 x 150 мм или 8 x 100 мм
Основные преимущества процесса:

  • широкий температурный диапазон осаждения
  • гладкая поверхность 
  • конформное покрытие ступенек и тренчей