Оксид индия, легированный оловом (ITO)

Оксид индия, легированный оловом (ITO)


Особенности процесса:

  • Вращающийся электрически подогреваемый столик;
  • Состав мишени ITO (90% In2O3 + 10% SnO2);
  • Рабочий газ Ar;
  • Реактивный газ O2;
  • Режим питания магнетрона: импульсный постоянный ток.

63aadf36b1639f35ce1f3764354c5871.gif

Характеристики покрытия:

  • Среднее пропускание в диапазоне 400-1200 нм > 90%
  • Скорость осаждения >3 нм/мин (в статическом режиме >40 нм/мин)
  • Сопротивление < 4 x 10-4 ом*см
  • Равномерность < ± 5% на подложке 200 мм
  • Шероховатость Ra < 2 nm
  • Коэффициент преломления 1.95—2.10 (в зависимости от потока O2)

1ff85554bdd75b917d84e5579fa78998.gif