Оксид индия, легированный оловом (ITO)

Особенности процесса:

• Вращающийся электрически подогреваемый столик;
• Состав мишени ITO (90% In₂O₃ + 10% SnO₂);
• Рабочий газ Ar;
• Реактивный газ O₂;
• Режим питания магнетрона: импульсный постоянный ток.

Характеристики покрытия:

• Среднее пропускание в диапазоне 400-1200 нм > 90%
• Скорость осаждения >3 нм/мин (в статическом режиме >40 нм/мин)
• Сопротивление < 4 x 10^-4 ом*см
• Равномерность < ± 5% на подложке 200 мм
• Шероховатость Ra < 2 nm
• Коэффициент преломления 1.95—2.10 (в зависимости от потока O₂)