Skip

Оксид индия, легированный оловом (ITO)


Особенности процесса:

  • вращающийся электрически подогреваемый столик
  • состав мишени ITO (90% In2O3 + 10% SnO2)
  • рабочий газ Ar
  • реактивный газ O2
  • режим питания магнетрона: импульсный постоянный ток
63aadf36b1639f35ce1f3764354c5871.gif

Характеристики покрытия:

  • среднее пропускание в диапазоне 400-1200 нм > 90 %
  • скорость осаждения >3 нм/мин (в статическом режиме >40 нм/мин)
  • сопротивление < 4 x 10-4 ом*см
  • равномерность < ± 5 % на подложке 200 мм
  • шероховатость Ra < 2 nm
  • коэффициент преломления 1.95—2.10 (в зависимости от потока O2)
1ff85554bdd75b917d84e5579fa78998.gif