Системы магнетронного распыления
Комплектация, расположение магнетронов и подложек, производительность системы могут варьироваться по требованию пользователя
SVS предлагает разные варианты и конфигурации магнетронных систем как для R&D целей, так и для массового производства. По типам магнетронов их можно разделить на следующие группы:
- магнетроны постоянного тока (DC) для осаждения металлов
- магнетроны с импульсным питанием
- магнетроны с HIPIMS питанием
- ВЧ магнетроны для осаждения диэлектриков
Технологические особенности систем:
- реализация смещения на подложке для её же очистки либо напыления с ионным ассистированием
- экраны для минимизации загрязнений рабочей камеры
- безмасляная откачка
- экраны для минимизации загрязнений рабочей камеры
- охлаждение или нагрев подложки (до 800 оС)
- контроль скорости осаждения кварцевыми датчиками
- магнетроны с диамтером мишеней от 50 до 200 мм могут быть установлены как в плоской так и в конфокальной конфигурации
- очистка подложек ВЧ смещением или ионным источником
- ВЧ смещение мощностью до 600 Вт, совместно с вращением подложки и нагревом (или охлаждением)
- ионное ассистрование во время осаждения покрытия
- реактивное осаждение
- толщина покрытий от нескольких нанометров до нескольких микрон
- крио- или турбоотчкачка вакуумного объема
- управление системой происходит посредством программируемого логического контроллера через ПК или HMI
- ведение базы данных всех основных параметров процесса
- возможность установки загрузочного шлюза или перчаточной камеры
Держатель пластин с возможностью охлаждения водой, нагрева до 800 °С, подачи ВЧ-смещения на подложку обеспечивает гибкое управление настройками процесса в зависимости от выбранного материала. С помощью высокочастотного смещения проводятся процессы, стимулированные плазмой, что увеличивает адгезию пленок и допускает возможность контроля структуры и стехиометрии наносимого материала. Система позволяет реализовать режимы распыления в постоянном и переменном токе, импульсный режим и режим реактивного распыления.
Модельный ряд SVS:
- расположения магнетронов сбоку (V2000)
- расположения магнетронов снизу (V2400)
- расположения магнетронов сверху (V2600)
- модель с загрузочным шлюзом (V2800)
- потоковая система с загрузочным шлюзом для нанесения материала на большие площади (V2900)
Все системы могут быть установлены в чистой комнате
(Eng)
|