Система PlasmaPro 80 PECVD
Компактная система PlasmaPro 80 PECVD с открытой загрузкой спроектирована для получения высококачественных диэлектрических пленок.
PlasmaPro 80 PECVD - это система плазмо-химического осаждения из газовой фазы. PECVD модули спроектированы для производства пленок с высокой равномерностью и скоростью осаждения. Система позволяет превосходно контролировать свойства пленок, такие как коэффициент преломления, поверхностное напряжение, электрические характеристики и скорость осаждения.
- открытая загрузка пластин;
- компактные габариты;
- подходит для исследовательских целей и мелкосерийного производства;
- подложки диаметром до 200 мм;
- быстрая загрузка-выгрузка пластин.
