Система для осаждения пленок Oxford Instruments PlasmaPro 1000 Stratum PECVD

Система для осаждения пленок Oxford Instruments PlasmaPro 1000 Stratum PECVD купить в Техноинфо

Система PlasmaPro1000 Stratum PECVD — высокопроизводительная система для осаждения пленок из газовой фазы, обеспечивает огромные преимущества в производстве LED устройств.



PlasmaPro1000 Stratum PECVD - спроектирована специально для осаждения пассивационных слоев в LED устройствах.

  • спроектирована для осаждения слоев SiO2 и SiNx;
  • высокие качество продукции и выход годной продукции;
  • надежное оборудование и простота в обслуживании позволяют максимизировать время эксплуатации.

Электрод большой площади и оптимизированная система подачи газа через газовый душ позволяют увеличивать количество пластин, обрабатываемых за одну загрузку.

Размеры партий:

  • ​Размер подложки 150mm/6" - ​7 подложек;
  • ​Размер подложки 100mm/4" - 15 подложек;
  • Размер подложки 50mm/2" - 61 подложка.