Комбинированная система напыления металлов и углерода C156TES
Новинка 2026 года — комбинированная система напыления металлических и углеродных покрытий с турбомолекулярным насосом, всё самое необходимое для пробоподготовки в одной установке. Компактная настольная установка с возможностью замены источника — высокое качество исследований для широкого спектра образцов.
Система напыления металлов с турбомолекулярным насосом C156TES нашей разработки и производства — это настольный прибор, позволяющий наносить тонкие пленки металлов (Au, Ag, Pt, Cr и др.) на поверхность образца методом магнетронного распыления с целью исследования методом электронной микроскопии и получения изображений высокого качества.
Мы собрали технологии последних лет, учли опыт наших друзей — пользователей электронных микроскопов и создали установки, которые отвечают современным требованиям подготовки образцов.
Получить брошюру о системах напыления серии C156
Другие модели серии C156:
Пробоподготовка образцов к исследованиям методами ЭМ
Финальным шагом в подготовке образцов для исследований методами электронной микроскопии является нанесение покрытия из проводящих материалов. Этот шаг необходим в первую очередь для того, чтобы избежать скопления заряда на образце в процессе исследования, который существенно снижает качество получаемого изображения. Напыляемыми материалами в числе прочих могут быть углерод, золото, платина, палладий и др.
Золотое и платиновое напыления в большинстве случаев используются для исследований биологических образцов в высоком разрешении, в то время как углеродное покрытие более применимо для пробоподготовки твердых материалов, таких как металлы или минералы.
Техники покрытия также могут быть различны: нанесение тонких пленок металлов на поверхность образца методом магнетронного распыления, а также углерод методом термического резистивного импульсного испарения.
Спецификация
- базовый блок с управляющей электроникой;
- магнетрон и испаритель с держателем углеродного стержня;
- вакуумная система с форвакуумным насосом;
- предметный столик Ø100 мм с вращением;
- большая камера Ø156х150 мм из кварцевого стекла;
- сенсорный экран управления 7″;
- программное обеспечение на русском языке;
- книга «рецептов» напыления;
- стартовый набор расходных материалов.
Опции
В зависимости от предполагаемой области применения, система напыления может быть дополнительно оснащена:
- измерителем толщины покрытия на основе кварцевых весов и резистивного сенсора;
- держателем образцов под задачи;
- различной комплектацией расходных материалов (металлические мишени, кварцевые кристаллы и резистивные сенсоры, дополнительный набор уплотнителей, набор для чистки камеры);
- предметным столиком с нагревом для увеличения адгезии покрытия (дополнительная опция под заказ);
- наклонным предметным столиком;
- сменной камерой Ø156х150 мм из кварцевого стекла.
| Характеристика | Значение |
|---|---|
| Испаритель | |
| Материалы напыления | Металлы и углерод (стержень или шнур) |
| Тип испарителя | Магнетрон постоянного тока и блок резистивного импульсного термического испарения |
| Максимальный ток | Ток разряда магнетрона — 100 мА; Ток импульса испарителя — 90 А |
| Вакуумная камера | |
| Материал вакуумной камеры | Кварцевое прозрачное бесцветное стекло |
| Внутренний диаметр вакуумной камеры | 156 мм |
| Высота вакуумной камеры | 150 мм |
| Вакуумная система | Полностью автоматическая, форвакуумный насос/турбомолекулярный насос |
| Производительность форвакуумного насоса | 19,8 м3/ч |
| Производительность турбомолекулярного насоса | 60-90 л/с |
| Предметный столик | |
| Диаметр предметного столика для образцов | 100 мм |
| Максимальная скорость вращения столика | 20 оборотов в мин. |
| Наклон и изменение высоты предметного столика | Да (дополнительная опция) |
| Держатели образцов | Стандартный держатель, держатель под задачи (дополнительная опция) |
| Программное обеспечение | |
| Управление процессом напыления | графический сенсорный экран 7″ |
| Измерение давления (встроенный вакуум-датчик) | Диапазон: 1000 мбар – 10-3 мбар |
| Измерение толщины покрытия (дополнительная опция) | Для магнетрона — кварцевые весы (дополнительная опция); Для испарителя — резистивный сенсор |
| Сохранение и загрузка пользовательских рецептов | >1000 шт |
| Общие | |
| Габариты и вес | 450x300x400 мм, 22 кг |