Комбинированная система напыления металлов и углерода C156RES
Новинка! Настольный прибор, сочетающий в себе нанесение металла (Au, Ag, Pt, Cr и др.) или углерода в одной системе.
Разработка и выпуск 2025 года.
Комбинированная система напыления металлических и углеродных покрытий C156RES - всё самое необходимое для напыления в одной установке.
Настольный прибор, позволяющий наносить тонкие пленки металлов (Au, Ag, Pt, Cr и др.) или углерод на поверхность образца методом магнетронного распыления с целью исследования методом электронной микроскопии и получения изображений высокого качества.
Финальным шагом в подготовке образцов для исследований методами электронной микроскопии является нанесение покрытия из проводящих материалов.
Этот шаг необходим в первую очередь для того, чтобы избежать скопления заряда на образце в процессе исследования, который существенно снижает качество получаемого изображения.
Напыляемыми материалами в числе прочих могут быть золото, платина, палладий, углерод и др.
Мы собрали технологии последних лет, учли опыт наших друзей — пользователей электронных микроскопов и создали установки, которые отвечают современным требованиям подготовки образцов.
Пробоподготовка образцов к исследованиям методами ЭМ
Финальным шагом в подготовке образцов для исследований методами электронной микроскопии является нанесение покрытия из проводящих материалов. Этот шаг необходим в первую очередь для того, чтобы избежать скопления заряда на образце в процессе исследования, который существенно снижает качество получаемого изображения. Напыляемыми материалами в числе прочих могут быть углерод, золото, платина, палладий, углерод и др.
Золотое и платиновое напыления в большинстве случаев используются для исследований биологических образцов в высоком разрешении, в то время как углеродное покрытие более применимо для пробоподготовки твердых материалов, таких как металлы или минералы.
Техники покрытия также могут быть различны: нанесение тонких пленок металлов на поверхность образца методом магнетронного распыления, а также углерод методом термического резистивного импульсного испарения.
В систему входит:
- Базовый блок с управляющей электроникой;
- Магнетрон и испаритель с держателем углеродного стержня;
- Вакуумная система с форвакуумным насосом;
- Предметный столик Ø100 мм с вращением;
- Большая камера Ø156х150 мм из кварцевого стекла;
- Сенсорный экран управления 7″;
- Программное обеспечение на русском языке;
- Книга «рецептов» напыления;
- Стартовый набор расходных материалов.
В зависимости от предполагаемой области применения, система напыления может быть дополнительно оснащена:
- измерителем толщины покрытия на основе кварцевых весов и резистивного сенсора;
- держателем образцов под задачи;
- вакуумной системой на базе турбомолекулярного насоса;
- различной комплектацией расходных материалов (металлические мишени, кварцевые кристаллы и резистивные сенсоры, дополнительный набор уплотнителей, набор для чистки камеры);
- предметным столиком с нагревом для увеличения адгезии покрытия (дополнительная опция под заказ);
- наклонным предметным столиком;
- сменной камерой Ø156х150 мм из кварцевого стекла.
|
Испаритель |
|
|
Материалы напыления |
Металлы и углерод (стержень или шнур) |
|
Тип испарителя |
Магнетрон постоянного тока и блок резистивного импульсного термического испарения |
|
Максимальный ток |
Ток разряда магнетрона — 100 мА; |
|
Ток импульса испарителя — 90 А |
|
|
Вакуумная камера |
|
|
Материал вакуумной камеры |
Кварцевое прозрачное бесцветное стекло |
|
Внутренний диаметр вакуумной камеры |
156 мм |
|
Высота вакуумной камеры |
150 мм |
|
Вакуумная система |
Полностью автоматическая, форвакуумный насос |
|
Производительность форвакуумного насоса |
19,8 м3/ч |
|
Предметный столик |
|
|
Диаметр предметного столика для образцов |
100 мм |
|
Максимальная скорость вращения столика |
20 оборотов в мин. |
|
Наклон и изменение высоты предметного столика |
Да (дополнительная опция) |
|
Держатели образцов |
Стандартный держатель, держатель под задачи (дополнительная опция) |
|
Программное обеспечение |
|
|
Управление процессом напыления |
Графический сенсорный экран 7” |
|
Измерение давления (встроенный датчик вакуума) |
Диапазон: 1000 мбар – 10-3 мбар |
|
Измерение толщины покрытия (дополнительная опция) |
Для магнетрона — кварцевые весы (дополнительная опция) |
|
Для испарителя — резистивный сенсор |
|
|
Сохранение и загрузка пользовательских рецептов |
>1000 шт |
|
Общие |
|
|
Габариты и вес (без дополнительных опций) |
450х300х400 мм, 22 кг |
- Распаковка Системы для напыления C156R
- Обзор Системы напыления металлов C156