Система напыления металлов C156RS

Система напыления металлов с форвакуумным насосом C156RS

Современная установка напыления металлических покрытий с форвакуумным насосом для пробоподготовки исследований методами электронной микроскопии от отечественного производителя.



Мы собрали технологии последних лет, учли опыт наших друзей - пользователей электронных микроскопов и создали установки, которые отвечают современным требованиям подготовки образцов.

Система напыления металлов с форвакуумным насосом C156RS нашей разработки и производства - это настольный прибор, позволяющий наносить тонкие пленки металлов (Au, Ag, Pt, Cr и др.) на поверхность образца методом магнетронного распыления с целью исследования методом электронной микроскопии и получения изображений высокого качества.

Получить брошюру о системах напыления серии C156

Другие модели серии C156:

  • Система напыления металлов с турбомолекулярным насосом C156TS;
  • Система напыления углерода с форвакуумным насосом C156RE;
  • Система напыления углерода с турбомолекулярным насосом C156TE.

Пробоподготовка образцов к исследованиям методами ЭМ

Финальным шагом в подготовке образцов для исследований методами электронной микроскопии является нанесение покрытия из проводящих материалов. Этот шаг необходим в первую очередь для того, чтобы избежать скопления заряда на образце в процессе исследования, который существенно снижает качество получаемого изображения. Напыляемыми материалами в числе прочих могут быть золото, платина, палладий, углерод и др.

Золотое и платиновое напыления в большинстве случаев используются для исследований биологических образцов в высоком разрешении, в то время как углеродное покрытие более применимо для пробоподготовки твердых материалов, таких как металлы или минералы.

Техники покрытия также могут быть различны: нанесение тонких пленок металлов на поверхность образца методом магнетронного распыления, а также углерод методом термического резистивного импульсного испарения.

Что входит в систему:

  • базовый блок с управляющей электроникой;
  • магнетрон;
  • вакуумная система с форвакуумным насосом;
  • предметный столик Ø100 мм с вращением;
  • большая камера Ø156х150 мм из боросиликатного стекла;
  • сенсорный экран управления 7″;
  • программное обеспечение на русском языке;
  • книга «рецептов» напыления;
  • стартовый набор расходных материалов.

В зависимости от предполагаемой области применения, система напыления может быть дополнительно оснащена:

  • измерителем толщины покрытия на основе кварцевых весов;
  • держателем образцов под задачи;
  • вакуумной системой на базе турбомолекулярного насоса;
  • различной комплектацией расходных материалов (металлические мишени, кварцевые кристаллы, дополнительный набор уплотнителей, набор для чистки камеры);
  • предметным столиком с нагревом для увеличения адгезии покрытия*;
  • сменной камерой  Ø156х150 мм из боросиликатного стекла.

* отмечены опции под заказ.

​Параметры C156RS
Испаритель  
​Материалы напыления ​Металлы
​Тип испарителя ​Магнетрон постоянного тока
​Максимальный ток Разряда — 100 мА
Вакуумная камера
Материал вакуумной камеры Боросиликатное, прозрачное бесцветное стекло
Внутренний диаметр вакуумной камеры 156 мм
Высота вакуумной камеры 150 мм
Диаметр столика для образцов 100 мм
Вакуумная система Полностью автоматическая, форвакуумный / турбомолекулярный* насосы
Производительность форвакуумного насоса 19,8 м3/ч
Производительность турбомолекулярного насоса* 90 л/с
​Предметный столик
Максимальная скорость вращения столика 20 оборотов в мин.
Держатели образцов Стандартный держатель, держатель под задачи*
Программное обеспечение
​Управление процессом напыления ​Графический сенсорный экран 7”
​Измерение давления (встроенный датчик вакуума) Диапазон: 1000 мбар – 10-3 мбар (форв. насос) / 1000 мбар – 10-9 мбар (турбонасос)
​Измерение толщины покрытия* ​Кварцевые весы*
​Сохранение и загрузка пользов. рецептов >1000 шт
​Габариты и вес (без опций) 450х300х400 мм, 22 кг

* отмечены доступные опции.