Реактивное ионное травление / Плазменное травление (RIE/PE)
Особенности технологий RIE/PE:
- Охлаждаемый нижний электрод;
- ВЧ мощность подведена к верхнему или нижнему электроду (13.56 MHz);
- Автоматическое переключение подвода мощности;
- Газовый душ для подачи газа (на верхнем электроде);
- Основные параметры: газовый поток, рабочее давление, величина ВЧ мощности.
