Масс-спектрометр TOF.SIMS M6 Plus
TOF.SIMS M6 — масс-спектрометр с интегрированным атомно-силовым микроскопом.
Масс-спектрометр TOF.SIMS M6 Plus - это единственная система подобного рода.
Ключевые особенности:
- Одновременное получение химических и физических (морфология, твердость, проводимость, магнитные свойства и т.п.) в одном цикле измерений без извлечения образца;
- Программное обеспечение позволяет накладывать латеральные и объемные химические и физические карты.
- Аналитическая ионная пушка Nanoprobe 50:
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Уровень вакуума в аналитической пушке |
5х10-10 торр |
|
Тип аналитической ионной пушки |
Кластерная, импульсная, жидкометаллическая. Частота работы до 50 кГц. Ионы Bi+, Bi++, Bi2+, Mn+ |
|
Энергия аналитического пучка |
0-30 кэВ |
|
Гарантированный срок работы висмутового эмиттера |
500 часов |
|
Средний срок работы висмутового эмиттера |
700 часов |
|
Максимальный ток аналитического ионного пучка |
40 пА |
|
Минимальное время импульса |
0.7 нс |
|
Минимальный диаметр пучка на любых образцах |
50 нм |
|
Минимальный диаметр пучка на образцах небиологического происхождения |
20 нм |
- Времяпролетный анализатор:
|
Параметр |
Значение |
|---|---|
|
Разрешение по массе для легких элементов и молекул |
17000 |
|
Разрешение по массе для тяжелых элементов и молекул |
30000 |
|
Диапазон измеряемых масс |
0-12000 а.е.м. |
|
Соотношение сигнал/шум |
5х105 |
|
Максимальная скорость счета (без опции EDR анализатора) |
5х105 |
|
Максимальная скорость счета (с опцией EDR анализатора) |
5х107 |
- Ионная колонна травления:
|
Параметр |
Значение |
|---|---|
|
Количество источников в колонне |
2 |
|
Типы ионных источников |
1. Газовый импульсный ионный моноатомный. Работает на кислороде и/или аргоне. 2. Жидкометалический импульсный ионный источник – цезий. |
|
Энергия ионного пучка травления |
0-2 кЭв |
|
Гарантированный срок работы цезиевого эмиттера |
2.5 года |
|
Наличие отдельной системы откачки колонны травления |
Есть |
|
Минимальный диаметр пучка ионов кислорода |
10 мкм |
|
Максимальный диаметр пучка ионов кислорода |
40 мкм |
|
Минимальная плотность пучка ионов кислорода при 2 кэВ |
48 мА/см2 |
|
Минимальный диаметр пучка ионов цезия |
5 мкм |
|
Минимальный диаметр пучка ионов цезия |
40 мкм |
|
Минимальная плотность пучка ионов цезия при 2 кэВ |
12 мА/см2 |