Масс-спектрометр TOF.SIMS M6 Plus
Масс-спектрометр TOF.SIMS M6 Plus - это единственная система подобного рода. Одновременное получение химических и физических (морфология, твердость, проводимость, магнитные свойства и т.п.) в одном цикле измерений без извлечения образца. Программное обеспечение позволяет накладывать латеральные и объемные химические и физические карты.
Аналитическая ионная пушка Nanoprobe 50:
Времяпролетный анализатор:
Ионная колонна травления: