Магнетронное распыление
Особенности:
- Типичное рабочее давление: 1-30 мторр;
- Хорошее покрытие "ступеней";
- Стандартный метод для осаждения высококачественных пленок Al, сплава Al, Ti, TiN, TiW.
Типичные применения физического осаждения (PVD):
- Высококачественные пленки Al и его сплавов для контактов и дорожек;
- Диффузионные барьеры: TiN (реактивное магнетронное распыление);
- Резистивные пленки: NiCr, TaN;
- Драгоценные металлы: Au, Pt;
- Прозрачные проводящие оксиды: ITO, SnO, ZnO etc.
Система магнетронного распыления от OIPT: PlasmaPro400.