Ионные источники Kratos Analytical Minibeam 4, 5, 6
Большой выбор ионных источников для построения профилей распределения по глубине элементов и их химических состояний как для неорганических, так и органических образцов.
РФЭС спектрометр может быть оснащен различными источниками ионов в зависимости от типа образцов для профилирования, а именно:
- Стандартным моноатомным источником ионов Ar+;
- Полиароматическим углеводородным ионным источником;
- Кластерным источником ионов аргона.
- Моноатомный источник ионов Ar+ (Minibeam 4)
Моноатомный источник ионов Ar+ (Minibeam 4) работает с непрерывно изменяющимися энергиями ионов от 50 эВ до 4кэВ. Прецизионность ионной колонны обеспечивается наличием изгиба для подавления нейтрально заряженных частиц.
Источник позволяет работать в режиме колеблющихся ионов, который дает возможность получить высокую плотность тока при низких энергиях ионов. Такой режим обеспечивает отличное интерфейсное разрешение и высокую скорость травления при низких значениях ускоряющих напряжений.
- Полиароматический источник ионов (Minibeam 5)
Полиароматический источник ионов (Minibeam 5) способен проводить профилирование, используя два различных источника ионов, способных быстро переключаться между собой: ионы коронена (C24H12+), либо моноатомные ионы Ar+. Использование ионного источника в режиме ионов коронена позволяет успешно проводить профилирование органических образцов, тогда как ионы Ar+ актуально использовать для травления неорганических материалов и металлов.
Принцип работы: коронен сублимируется в контролируемом нагревательном элементе и затем ионизируется электронным ударом, аналогично моноатомному режиму Ar+. Ионы экстрагируются из области источника, ускоряясь до максимальной энергии в 20 кэВ (для коронена) и 5 кэВ (для ионов аргона), фокусируясь при помощи стандартной ионной оптики. Minibeam 5 оснащен фильтром Виена, для разделения ионов C24H12+ или C24H122+ по мере необходимости.
- Источник Кластерных Ионов Аргона (GCIS)
Minibeam 6 представляет собой кластерный источник ионов аргона (GCIS) способный генерировать кластеры Arn+ , содержащие сотни и даже тысячи атомов аргона. Поскольку энергия иона разделена на все атомы в кластере энергия бомбардирующего атома в кластере, или порционная энергия, может быть очень низкой и достигать нескольких электрон-вольт, таким образом, данный кластерный источник распыляет атомы только вблизи поверхности, оставляя приповерхностные слои невозмущенными.
Использование кластерного ионного источника для построения профилей распределения элементов по глубине для органических материалов приводит к успешному результату для большинства различных современных многослойных материалов, таких как органические светодиоды, органические фотоэлектрические материалы и др.
Minibeam 6 можно также использовать в моноатомном режиме ионов Ar+ , который оптимально подходит для травления неорганических материалов.
