Axis Nova

Высокоавтоматизированный рентгеновский фотоэлектронный спектрометр AXIS Nova позволяет проводить исследования образцов диаметром до 11 см с превосходным разрешением и отличной чувствительностью.

AXIS Nova основан на давно зарекомендовавшей себя технологии AXIS, включающей в себя соосный компенсатор заряда, магнитные иммерсионные линзы и детектор на линии задержки. Превосходное разрешение и высокая чувствительность совместно с большим держателем для образца диаметром 11 см, компактными размерами самого спектрометра, а также с возможностью оснащения дополнительными техниками анализа, делает AXIS Nova необходимым прибором для решения целого ряда научно-технических задач.


РФЭС с угловым разрешением

Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия с угловым разрешением (ARXPS) является важным инструментом для проведения анализа очень тонких слоев и областей над поверхностью образца без его повреждения. Спектрометр AXIS Nova обеспечивает максимальное разрешение по энергии при любом угле отражения электронов, а также позволяет выявлять очень низкие концентрации приповерхностных соединений. Автоматизированное эуцентрическое расположение образца гарантирует неизменность позиции для исследования при изменении наклона образца. Автоматическая компенсация заряда позволяет производить автоматический анализ образцов при помощи ARXPS спектроскопии. Спектры Si 2p отображают анализ тонкого слоя диоксида кремния SiO2 в основной части и на областях около поверхности. Превосходное разрешение по энергии достигается в обоих случаях, о чем свидетельствует расщепление ядерных уровней элементных пиков кремния Si 2p.

Эффективная компенсация заряда

Запатентованная система нейтрализации заряда AXIS обеспечивает полную компенсацию заряда на всех типах изоляционных материалов, что особенно важно при использовании монохроматического рентгеновского источника, в спектре которого отсутствуют низкие энергии. Нейтрализация заряда достигается за счет низкоэнергетических электронов, движущихся по спиральным траекториям, которые не вызывают повреждение поверхности образца. Работа с нейтрализатором достаточно простая, так как не требует оптимизации рабочих параметров нейтрализатора при замене образца, поэтому исследование изоляторов может быть автоматизировано. В примере слева показано оптическое изображение волокон целлюлозы в положении анализа AXIS Nova вместе со спектром высокого разрешения региона C 1s. Отличная нейтрализация заряда образца со сложной топографической структурой дает прекрасное разрешение, доказываемое значениями FWHM для различных компонент региона C1s, указанных на спектре.

(Eng)

VACUUM SYSTEM

Sample entry chamber (SEC)
Sample elevator (3 platen storage positions)
Turbomolecular pump (250l/sec) (oil free option)
Cold cathode wide range pressure gauge
236mm ID gate valve
Sample analysis chamber (SAC)
Stainless steel with Mu metal screening
Ion pump with cryoshield
Auxiliary pumping by titanium sublimation pump
Cold cathode wide range pressure gauge

X-RAY SOURCE

High power Al monochromator
500mm Rowland circle
Single quartz toroidal backplane
Indexed moveable anode face
Full computer control with read-back and interlocks

ELECTRON ENERGY ANALYSER

180° hemispherical analyser
165mm mean radius
Spherical mirror analyser
Fixed analyser transmission (FAT) mode

PHOTOELECTRON DETECTOR

MCP stack and delay-line detector
Scanned and snapshot spectroscopy modes
2D imaging mode

CHARGE NEUTRALISATION

Coaxial low energy electron source
Fully automatic

SAMPLE PLATENS

Standard 110mm diameter plane surface
ARXPS platen for 0 — 85° sample rotation
Compucentric rotation platen
Continuous 360° rotation about the vertical axis
Compucentric rotation about a point off central axis of platen

AUTOMATION AND SAMPLE VIEWING

5 axis software control of sample stage (platen dependent)
Software control of platen exchange
Automated small area selection
Optical microscope in SEC (110mm field of view)
High resolution optical microscope in SAC (2mm field of view)