Реактивное ионное травление / Плазменное травление (RIE/PE)



Особенности технологий RIE/PE:

  • Охлаждаемый нижний электрод;
  • ВЧ мощность подведена к верхнему или нижнему электроду (13.56 MHz);
  • Автоматическое переключение подвода мощности;
  • Газовый душ для подачи газа (на верхнем электроде);
  • Основные параметры: газовый поток, рабочее давление, величина ВЧ мощности.

9fadc31f34e391fe1bced297f2538e64.jpeg