Skip

Qtac 100



Технические характеристики В 3000 раз большая чувствительность по сравнению с классическим LEIS Количественное и элементное описание верхнего атомного слоя Спектроскопия и получение изображения и профиля образца Времяпролетная масс-фильтрация для увеличения чувствительности Анализ как изолирующих, так и проводящих образцов Применение Автономная версия системы Qtac100 основана на платформе, проверенной на практике. Модульная реализация системы идеальна для построения системы для задач пользователя и интеграции широкого спектра систем сверхвысокого вакуума. Так же возможно согласование Qtac100 с другими напольными системами высокого класса.

запросить коммерческое предложение...запросить сервисную поддержку...

Qtac представляет собой высокочувствительный метод рассеяния ионов малых энергий (LEIS, low energy ion scattering). Метод является чрезвычайно чувствительным, предоставляя информацию о структурном состоянии и элементном составе верхнего атомного слоя образца.

Ключевые особенности:

  • В 3000 раз большая чувствительность по сравнению с классическим LEIS
  • Количественное и элементное описание верхнего атомного слоя
  • Спектроскопия и получение изображения и профиля образца
  • Времяпролетная масс-фильтрация для увеличения чувствительности
  • Анализ как изолирующих, так и проводящих образцов

Многие взаимодействия твердой поверхности с другими твердыми телами, жидкостями, газами выражаются лишь во взаимодействии с первым атомарным слоем. Чтобы получить четкое представление об этих процессах, решающее значение имеет анализ именно первого атомного слоя.

Значительные преимущества метода рассеяния медленных ионов (РМИ) является то, что данный метод обладает чрезвычайно высокой чувствительностью поверхности, а также то, что данный метод позволяет получать количественную информацию о составе верхнего атомарного слоя. В отличие от многих других существующих методов анализа поверхностей, таких как XPS или AES, которые обычно позволяют получать данные с нескольких атомных слоев, РМИ (LEIS) позволяет характеризовать отдельные атомные слои, не допуская перемешивания информации. Эти возможности делают Qtac100 чрезвычайно ценным инструментом, особенно для тех случаев, когда требуется информация о составе именно первого атомного слоя. Возможность осуществления статического профилирования в глубину позволяет анализировать несколько низлежащих слоев и, например, анализировать толщину слоя и его равномерность.

Qtac100 расширяет диапазон применений РМИ (LEIS) на методы построения изображения - карты элементов и изучения глубинных профилей при травлении.

Катализ

Для исследований в области катализа, существенной является информация именно о верхнем атомном слое. Qtac100 является превосходным инструментом для решения данной задачи.


Полупроводники

Глубинное профилирование


Глубинный профиль As допанта в кремнииХимические глубинные профили могут быть получены при использовании метода LEIS в рамках прибора Qtac100 в режиме двулучевого анализа (травление производится низкоэнергетическим ионным источником). В отличии от ВИМС здесь нет необходимости использовать реактивные частицы для травления, которые могут влиять на выход ионов и на степень ионизации поверхностного слоя. Qtac100 позволяет легко определять количественные содержания и профили веществ начиная с самых первых нанометров поверхности.



Анализ сверхтонких пленок


В полупроводниковой индустрии сверхтонкие плёнки (например, барьеры диффузии) зачастую изготавливаются с помощью метода атомнослоевого осаждения (ALD). Пример ниже показывает пять различных спектров LEIS, полученных при различном числе осаждённых слоёв WNxCy на кремний.



Наблюдая уменьшение кремния и рост сигнала вольфрама, можно сделать вывод о том, что необходимо 40 слоёв, нанесённых методом ALD для формирования плотного комфортного слоя WNxCy. Форма левого плеча пика вольфрама позволяет сделать вывод о составе низлежащих слоёв, который, как видно, происходил островками, прежде чем произошло полное закрытие поверхности..


Металлы

Разделение меди (Cu)


Сплав Константана состоит из никеля и меди. При высоких температурах Cu выходит на поверхность. Образованный монослой Cu содержит и Cu и Mn, который является примесью также выделяющейся на поверхности. Другими методами Mn обнаружить не удалось.

Органические материалы


Пленка Лангмюра-Блоджетт на золоте (Au)


Проводя исследования статического профиля с помощью LEIS, можно измерить толщину органической плёнки. В данном примере была определена толщина плёнки Лэнгмюра-Блоджетт путём измерения изменения энергетического спектра золота.



РМИ пушка для травления

Qtac может быть оснащен ионной оптической колонной высокого тока со встроенной источником ионов, работающим на аргоне либо кислороде. Эта ионная пушка используется для сверхнизкоенергетического травления в комбинации с
РМИ анализом.
Она включает независимую откачку и отдельные вентиль для независимого напуска газов. Ионную колонную с тремя линзами и отклоняющими элементами и масс-разделяющей импульсной системой, фильтром Wienа. Полностью автоматизированное управление от компьютера и независимый источник питания.


Qtac100 доступен с двумя различными системами загрузки образца:


одиночная система загрузки


A single stage sample introduction system including a rapid pumpdown HV loadlock fitted with a turbomolecular pump and a horizontal sample transfer system fully integrated into the logic of the Qtac100 vacuum control system. Provision for the attachment of heating and process gas treatment of the sample in the loadlock. The loadlock chamber is prepared to accept various sample preparation devices, such as an atomic Hydrogen/Oxygen source.

двойная система загрузки

A dual stage sample introduction system including a rapid pumpdown HV loadlock, an UHV preparation chamber fitted with a turbomolecular pump, and a horizontal sample transfer system fully integrated into the logic of the Qtac100 vacuum control system. Provision for the attachment of heating and process gas treatment of the sample in the introduction system. The UHV chamber is prepared to accept various sample preparation devices, such as an atomic Oxygen/Hydrogen source.

Модульный дизайн нашего инструмениа легко настраивается под Ваши нужд. Qtac доступен в трех различных комплектациях:


Qtac100 автономная версия

Автономная версия системы Qtac100 основана на платформе, проверенной на практике. Модульная реализация системы идеальна для построения системы для задач пользователя и интеграции широкого спектра систем сверхвысокого вакуума. Так же возможно согласование Qtac100 с другими напольными системами высокого класса.


Комбинация Qtac - TOF.SIMS 5

Проведение различных методов анализа без выемки образца представляется чрезвычайно полезным для многих образцов, включая образцы с чувствительными поверхностями. Исключение возможного загрязнения образца позволяет проводить прямое сравнение результатов различных видов исследований. Комбинирование Qtac с времяпролетным масс-спектрометром TOF.SIMS 5 позволяет создать чрезвычайно эффективный прибор для исследований органических и неорганических соединений. Данный подход позволяет проводить анализ поверхностных атомных слоев, строить карту распределения химических соединений, статическое и динамическое профилирование, трехмерное распределение химических соединений в образце, измерение толщин слоев и количественный анализ.

Дополнение оборудования сторонних производителей системой Qtac

Многие производства такие, как обработка поверхностей и осаждение тонких слоев, достигают больших успехов при наличии системы контроля качества в реальном времени.
Для измерения толщины слоев и равномерности их распределения, Qtac представляется идеальным дополнением. Qtac так же поставляется в качестве встраиваемого модуля и производится по индивидуальным требованиям для лабораторных и производственных систем. Типичными примерами подобных систем являются установки атомно-слоевого осаждения (ALD) и молекулярно-лучевой эпитаксии (MBE).