[:ru]Сканирующий электронный микроскоп ThermoFisher Apreo™[:en]Apreo™ Scanning Electron Microscope[:]

Сканирующий электронный микроскоп ThermoFisher Apreo™ купить в Техноинфо

[:ru]

  «Рабочая лошадка» с суб-нанометровым разрешением и высочайшей аналитической производительностью.  

[:en]

Microscopes Apreo™ show sub-nanometer resolution and superior analytical performance.

[:]



[:ru]

С Apreo вы можете получать высококонтрастные изображения в высоком разрешении даже при работе с магнетиками, стеклами или другими непроводящими структурами. В тоже время микроскоп показывает отличные результаты и при изучении традиционных образцов для сканирующей электронной микроскопии.

[:en]

A revolution in detection - the unique Trinity™ detection scheme delivers highest contrast on the widest range of samples for fastest imaging and easy interpretation of images. With three separate in-lens detectors operating simultaneously with the standard chamber detector, simultaneous detection from all angles can be performed, saving time, maximizing information and preventing sample contamination and damage.

[:]

[:ru]

Улучшенная технология детектирования – отличительная черта FEI Apreo. Инновационный детектор In-Lens FEI Trinity™, состоящий из трех независимых сцинтилляционных детекторов, размещенных в колонне микроскопа, собирает сигналы во вторичных и обратно отраженных электронах одновременно, что позволяет уменьшить время съемки и получить изображения в различном контрасте. Инновационный, расположенный вне поля действия линз концентрический детектор обратно отраженных электронов увеличивает эффективность, позволяя получить полезный сигнал уже при энергии электронов 20 эВ. Кроме того, объективная линза микроскопа Apreo имеет подключаемый иммерсионный режим, что позволяет получать гарантированное разрешение 1,0 нм даже при ускоряющем напряжении всего 1 кВ. Опционально микроскоп поддерживает работу в режиме низкого (до 500 Па) вакуума. FEI Apreo позволяет работать с широким кругом образцов различными методами анализа, в том числе с помощью энергодисперсионного анализа.

[:en]

For metals researchers, academic and industrial research institutions, FEI’s Apreo SEM provides Ultra High Resolution imaging together with the highest throughput analytical performance.

[:]

[:ru]

Сканирующий электронный микроскоп Apreo доступен в четырех базовых вариантах, выбор которого зависит в первую очередь от требуемого для Ваших исследовательских задач разрешения и вида образцов*:

Модель/параметр Apreo C (HiVac/LoVac) Apreo S (HiVac/LoVac)
​Линзы ​Электростатическая ​Комбинация из электростатической и магнитно-иммерсионной
​30 кВ (STEM) 0,8 нм 0,8 нм
15 кВ (при HiVac) ​1,0 нм 0,7 нм
​1 кВ (при HiVac) ​​1,3 нм ​1,0 нм
1 кВ ( при HiVac с функцией beam decel.) ​1,0 нм ​0,8 нм
​500 В (при HiVac с функцией beam decel.) ​- ​​0,9 нм
100 В (при HiVac с функцией beam decel.) ​- ​1,8 нм
​15 кВ (при LoVac) ​1,0 нм 1,0 нм
​3 кВ (при LoVac) ​1,8 нм ​1,8 нм
В базовую комплектацию Apreo входит:
  • Высокопроизводительный SEM с катодом полевой эмиссии типа Шоттки (FEG) и усовершенствованной NICol электронной колонной
  • Компьютер с 24’ LCD монитором (Windows 7)
  • Рабочий стол
  • CCD камера
  • Мультифункциональный держатель
  • Оптическая камера Nav-Cam для удобной навигации по образцу
  • Автоматическая апертурная система
  • Интегрированная система измерения тока пучка
  • Режим замедления пучка Beam Deceleration
  • Инструкция пользователя
Детекторы:
  • Детектор вторичных электронов Эверхарта-Торнли (ET-SED) для топографического контраста материалов в режиме высокого вакуума
  • Нижний внутрилинзовый сегментированный детектор обратно-рассеянных электронов T1
  • Верхний внутрилинзовый детектор вторичных электронов T2
Вакуумная система:
  • Полностью безмасляная
  • Турбомолекулярный насос: 1 × 250 имп/с
  • Роторный насос: 1 шт
  • Ионно-геттерный насос: 2 шт
Программное обеспечение:

  • xT SEM – простой и удобный пользовательский интерфейс
  • Smart ScanTM – функция интеллектуального сканирования

*

  1. для исследования стандартных проводящих образцов для электронной микроскопии и области интереса на них >10 нм оптимальной базой будет Apreo C HiVac;
  2. для магнитных, сложных и непроводящих образцов с областью интереса 1-50 нм — Apreo S (HiVac);
  3. для образцов, чувствительных к высокому вакууму (например, биологических) — Apreo C/S LoVac.
 
 

[:en]

The instrument provide an expanded range of capabilities:
•High-resolution electron beam images
•High resolution elemental microanalysis of defect cross sections
•Imaging of sample surfaces with the electron beam during navigation without erosion

[:]

[:ru]

В зависимости от предполагаемой области применения, микроскоп может быть дополнительно оснащен:

  • системой подачи газа для нанесения пленок/сварки GIS
  • плазменной очисткой образца/камеры Plasma Cleaner
  • модулем криоочистки образца CryoCleaner
  • различными анализаторами: EDS, EBSD, CL, WDS, Raman
  • системой рисования электронным лучом Patterning
  • функцией замедления электронного пучка BDM
  • азотной ловушкой Cryo Can
  • системой для быстрой загрузки Quick Loader
  • наноманипуляторами и зондами
  • температурными столиками (нагрев, охлаждение)
  • системой навигации и ПО Correlative Navigation, MAPS Tilting and Stitching
  • ПО MAPS для автоматического получения массивных изображений и их обработки
  • ПО iFast для написания скриптов и доп. автоматизации работы
  • ПО дополнительного анализа изображений и 3D реконструкций Avizo/Amira/PerGeos
  • интегрированный в камеру ультрамикротомом VolumeScope
  • ПО для использования сетевых ресурсов (удаленный доступ/техническая поддержка)
  • дополнительным детектором вторичных электронов в колонне T3
  • уникальным выдвижным многосегментным детектором обратно-рассеянных электронов DBS
  • уникальным выдвижным многосегментным детектором прошедших электронов STEM3+
  • устанавливаемым на линзу газовым аналитическим детектор обратнорассеянных электронов DBS-GAD при работе на низком вакууме
  • специальными держателями образцов (возможен заказ держателей под нужды пользователя)

[:en]

•Support PC – connects your work space to the network and can hold some other software utilities.
•Manual User Interface (MUI) – provides direct manual control of microscope parameters such as focus, magnification, contrast, brightness, beam shift and correcting astigmatism.
•Joystick – brings another possibility to control the basic stage movements.
•Electron Beam Current Measurement
•External Scan Interface
•Quick Loader
•Nav-Cam
•Patterning
•Gas Injection System – Platinum Deposition, Tungsten Deposition, Insulator Deposition II, Delineation Etch, Insulator Enhanced Etch, Enhanced Etch, Carbon Deposition, Selective Carbon Mill, Gold
•Uninterruptible Power Supply
•Mains Matching and Isolation Transformer – provides a galvanic isolated AC-regulated power source with the 115 / 230 V, 50 / 60 Hz output.
•Compressor 120 V / 230 V, 50 / 60 Hz 4-litre Tank
•Thermo Neslab Water Cooler 50 Hz / 60 Hz
•Acoustic Enclosure for Pre-vacuum Pump
•Specimen Holder Kit
•Set of 20 Specimen Stubs for SEM’s
•UMB Stub Holder Kit
•CryoCleanerEC + spare vessel – anti-contamination device
•Plasma Cleaner
•Annular STEM detector – allows detection of electrons transmitted through the sample. Regular voltage range is from 30 kV down to around 5 kV, which is of course dependent on the sample thickness.
•Universal Lift-out Holder for STEM observation
•Trinity detector (T3) – In Column detector specially suitable for the Beam Deceleration mode
•Directional Backscattered Detector (DBS) – Angular (ABS) / Concentric (CBS)
•Thermal Printer Kit
•Remote Control / Imaging

[:]

[:ru]

​Максимальное​ разрешение при 30 кВ (HiVac) — 0,8 нм​ при 1 кВ (LoVac) — 1 нм
​Ускоряющее напряжение ​от 200 В до 30 кВ
​Ток пучка электронов ​от 1 пА до 400 нА
Катод​ Полевой катод (Шоттки), время жизни не менее 1 года, замена производится сервисным инженером​
​Геометрия объективной линзы ​60°, для удобства изучения образцов большого размера
​Функция замедления пучка ​смещение напряжения от -4 кВ до +600 В
​Максимальная ширина поля ​3 мм при оптимально рабочем расстоянии 10 мм
Пределы перемещения столика ​ в горизонтальной плоскости ± 55 мм, по вертикали 12-65 мм, наклон -15 +90 градусов, вращение — неограниченно​ максимальная высота образца 85 мм максимальный вес образца 500 гр в любом положении столика (до 2 кг при наклоне 0°)
Параметры рабочей камеры ширина -340 мм аналитическое рабочее расстояние — 10 мм количество портов — 12 шт угол выхода EDS — 35° возможна одновременная установка до 3 EDS спектрометров
Уровень вакуума в камере < 6,3*10-6 мбар (после 72 часов откачки)
​Время откачки ​< 3,5 минуты
​Режим низкого вакуума (LoVac)* ​от 10 до 500 Па

*опционально

[:en]

Standard resolution with 30 kV — 1 nm, with 1 kV — 1.3 nm.
Motorized 5-axis stage with 110*110 mm field.
 

[:]