Сканирующий электронный микроскоп ThermoFisher Apreo™
ThermoFisher Apreo™ — «рабочая лошадка» с суб-нанометровым разрешением и высочайшей аналитической производительностью.
Со сканирующим электронным микроскопом ThermoFisher Apreo™ вы можете получать высококонтрастные изображения в высоком разрешении даже при работе с магнетиками, стеклами или другими непроводящими структурами. В тоже время микроскоп показывает отличные результаты и при изучении традиционных образцов для <сканирующей электронной микроскопии.
Улучшенная технология детектирования – отличительная черта FEI Apreo. Инновационный детектор In-Lens FEI Trinity™, состоящий из трех независимых сцинтилляционных детекторов, размещенных в колонне микроскопа, собирает сигналы во вторичных и обратно отраженных электронах одновременно, что позволяет уменьшить время съемки и получить изображения в различном контрасте. Инновационный, расположенный вне поля действия линз концентрический детектор обратно отраженных электронов увеличивает эффективность, позволяя получить полезный сигнал уже при энергии электронов 20 эВ. Кроме того, объективная линза микроскопа Apreo имеет подключаемый иммерсионный режим, что позволяет получать гарантированное разрешение 1,0 нм даже при ускоряющем напряжении всего 1 кВ. Опционально микроскоп поддерживает работу в режиме низкого (до 500 Па) вакуума. FEI Apreo позволяет работать с широким кругом образцов различными методами анализа, в том числе с помощью энергодисперсионного анализа.
Сканирующий электронный микроскоп Apreo доступен в четырех базовых вариантах, и выбор подходящего зависит в первую очередь от требуемого для ваших исследовательских задач разрешения и вида образцов*:
| Модель/параметр | Apreo C (HiVac/LoVac) | Apreo S (HiVac/LoVac) |
| Линзы | Электростатическая | Комбинация из электростатической и магнитно-иммерсионной |
| 30 кВ (STEM) | 0,8 нм | 0,8 нм |
| 15 кВ (при HiVac) | 1,0 нм | 0,7 нм |
| 1 кВ (при HiVac) | 1,3 нм | 1,0 нм |
| 1 кВ ( при HiVac с функцией beam decel.) | 1,0 нм | 0,8 нм |
| 500 В (при HiVac с функцией beam decel.) | - | 0,9 нм |
| 100 В (при HiVac с функцией beam decel.) | - | 1,8 нм |
| 15 кВ (при LoVac) | 1,0 нм | 1,0 нм |
| 3 кВ (при LoVac) | 1,8 нм | 1,8 нм |
В базовую комплектацию Apreo входит:
- Высокопроизводительный SEM с катодом полевой эмиссии типа Шоттки (FEG) и усовершенствованной NICol электронной колонной;
- Компьютер с 24″ LCD монитором (Windows 7);
- Рабочий стол;
- CCD камера;
- Мультифункциональный держатель;
- Оптическая камера Nav-Cam для удобной навигации по образцу;
- Автоматическая апертурная система;
- Интегрированная система измерения тока пучка;
- Режим замедления пучка Beam Deceleration;
- Инструкция пользователя.
Детекторы:
- Детектор вторичных электронов Эверхарта-Торнли (ET-SED) для топографического контраста материалов в режиме высокого вакуума;
- Нижний внутрилинзовый сегментированный детектор обратно-рассеянных электронов T1;
- Верхний внутрилинзовый детектор вторичных электронов T2.
Вакуумная система:
- Полностью безмасляная;
- Турбомолекулярный насос: 1 × 250 имп/с;
- Роторный насос: 1 ш;т
- Ионно-геттерный насос: 2 шт.
Программное обеспечение:
- xT SEM – простой и удобный пользовательский интерфейс;
- Smart ScanTM – функция интеллектуального сканирования.
* Примечания:
- Для исследования стандартных проводящих образцов для электронной микроскопии и области интереса на них >10 нм оптимальной базой будет Apreo C HiVac;
- Для магнитных, сложных и непроводящих образцов с областью интереса 1-50 нм — Apreo S (HiVac);
- Для образцов, чувствительных к высокому вакууму (например, биологических) — Apreo C/S LoVac.
В зависимости от предполагаемой области применения, микроскоп может быть дополнительно оснащен:
- Системой подачи газа для нанесения пленок/сварки GIS;
- Плазменной очисткой образца/камеры Plasma Cleaner;
- Модулем криоочистки образца CryoCleaner;
- Различными анализаторами: EDS, EBSD, CL, WDS, Raman;
- Системой рисования электронным лучом Patterning;
- Функцией замедления электронного пучка BDM;
- Азотной ловушкой Cryo Can;
- Системой для быстрой загрузки Quick Loader;
- Наноманипуляторами и зондами;
- Температурными столиками (нагрев, охлаждение);
- Системой навигации и ПО Correlative Navigation, MAPS Tilting and Stitching;
- ПО MAPS для автоматического получения массивных изображений и их обработки;
- ПО iFast для написания скриптов и доп. автоматизации работы;
- ПО дополнительного анализа изображений и 3D реконструкций Avizo/Amira/PerGeos;
- Интегрированный в камеру ультрамикротомом VolumeScope;
- ПО для использования сетевых ресурсов (удаленный доступ/техническая поддержка);
- Дополнительным детектором вторичных электронов в колонне T3;
- Уникальным выдвижным многосегментным детектором обратно-рассеянных электронов DBS;
- Уникальным выдвижным многосегментным детектором прошедших электронов STEM3+;
- Устанавливаемым на линзу газовым аналитическим детектор обратнорассеянных электронов DBS-GAD при работе на низком вакууме;
- Специальными держателями образцов (возможен заказ держателей под нужды пользователя).
| Максимальное разрешение | при 30 кВ (HiVac) — 0,8 нм при 1 кВ (LoVac) — 1 нм |
| Ускоряющее напряжение | от 200 В до 30 кВ |
| Ток пучка электронов | от 1 пА до 400 нА |
| Катод | Полевой катод (Шоттки), время жизни не менее 1 года, замена производится сервисным инженером |
| Геометрия объективной линзы | 60°, для удобства изучения образцов большого размера |
| Функция замедления пучка | смещение напряжения от -4 кВ до +600 В |
| Максимальная ширина поля | 3 мм при оптимально рабочем расстоянии 10 мм |
| Пределы перемещения столика | в горизонтальной плоскости ± 55 мм, по вертикали 12-65 мм, наклон -15 +90 градусов, вращение — неограниченно максимальная высота образца 85 мм максимальный вес образца 500 гр в любом положении столика (до 2 кг при наклоне 0°) |
| Параметры рабочей камеры | ширина — 340 мм аналитическое рабочее расстояние — 10 мм количество портов — 12 шт угол выхода EDS — 35° возможна одновременная установка до 3 EDS спектрометров |
| Уровень вакуума в камере | < 6,3*10-6 мбар (после 72 часов откачки) |
| Время откачки | < 3,5 минуты |
| Режим низкого вакуума (LoVac)* | от 10 до 500 Па |
*опционально