Система плазменной активации поверхности GD156R
Система плазменной активации поверхности с форвакуумным насосом GD156R — это настольный прибор, позволяющий очищать поверхность образцов с целью дальнейшего исследования методом электронной микроскопии.
Мы собрали технологии последних лет, учли опыт наших друзей - пользователей электронных микроскопов и создали установки, которые отвечают современным требованиям подготовки образцов.
Система плазменной активации поверхности GD156R нашей разработки и производства - это настольный прибор, позволяющий производить плазменную очистку и активацию поверхности с целью исследования образцов методом электронной микроскопии и получения изображения высокого качества.
Получить брошюру о системах напыления серии C156
Другие модели серии C156:
Пробоподготовка образцов к исследованиям методами ЭМ
Система GD156R представляет собой универсальную установку плазменной обработки и активации поверхности и предназначена для подготовки образцов к исследованиям методами электронной микроскопии.
Плазменная очистка — это предварительная обработка поверхности перед исследованиями поверхности образцов, анализом состава вещества, нанесением фоторезиста, вакуумным напылением слоев, пайкой или микросваркой.
В процессе плазменной очистки поверхность материала подвергается химической реакции с ионизированными газами. Свободные радикалы газа взаимодействуют с загрязнением на поверхности, преобразуются в газовую фазу и далее удаляются. Такой способ позволяет достичь прецизионной очистки чувствительных поверхностей, что повышает ее адгезию.
Другой задачей применения плазменной обработки является активация поверхности с помощью плазмы. Время обработки в большинстве случаев составляет несколько минут. Качество активации может проверяется тестовыми чернилами.
Плазменная очистка металлов применяется для получения поверхности, не содержащей оксидов.
Прибор предназначен для работы с широким спектром образцов, обеспечивает их простую загрузку и выгрузку. Система полностью автоматизирована, пользователь может задать алгоритм работы, включающий стадии откачки, дегазации, настроить рабочее давление, напряжение, ток, время обработки.
В установку входят:
- базовый блок с управляющей электроникой;
- магнетрон;
- вакуумная система с форвакуумным насосом;
- предметный столик Ø100 мм с вращением;
- большая камера Ø156х150 мм из боросиликатного стекла;
- сенсорный экран управления 7″;
- программное обеспечение API156 на русском языке;
- книга «рецептов» по обработке.
В зависимости от предполагаемой области применения, система напыления может быть дополнительно оснащена:
- держателем образцов под задачи;
- различной комплектацией расходных материалов (дополнительный набор уплотнителей, набор для чистки камеры, пинцеты и другое);
- предметным столиком с нагревом для увеличения адгезии покрытия*;
- сменной камерой Ø156х150 мм из боросиликатного стекла.
| Вакуумная камера | ||
| Материал вакуумной камеры | Боросиликатное, прозрачное бесцветное стекло | |
| Внутренний диаметр вакуумной камеры | 156 мм | |
| Высота вакуумной камеры | 100 мм | |
| Производительность форвакуумного насоса | 19,8 м3/ч | |
| Предметный столик | ||
| Держатели образцов | Стандартный держатель, держатель под задачи* | |
| Программное обеспечение | ||
| Управление процессом напыления | Графический сенсорный экран 7” | |
| Измерение давления (встроенный датчик вакуума) | Диапазон: 1000 мбар – 10-3 мбар (форв. насос) / 1000 мбар – 10-9 мбар (форвакуумный насос) | |
| Сохранение и загрузка пользов. рецептов | >1000 шт | |
| Габариты и вес (без опций) | 450х300х400 мм, 22 кг | |