Система напыления металлов C156TS
Современная установка напыления металлических покрытий с турбомолекулярным насосом для пробоподготовки исследований методами электронной микроскопии от отечественного производителя.
Мы собрали технологии последних лет, учли опыт наших друзей - пользователей электронных микроскопов и создали установки, которые отвечают современным требованиям подготовки образцов.
Система напыления металлов с турбомолекулярным насосом C156TS нашей разработки и производства - это настольный прибор, позволяющий наносить тонкие пленки металлов (Au, Ag, Pt, Cr и др.) на поверхность образца методом магнетронного распыления с целью исследования методом электронной микроскопии и получения изображений высокого качества.
Получить брошюру о системах напыления серии C156
Другие модели серии C156:
Пробоподготовка образцов к исследованиям методами ЭМ
Финальным шагом в подготовке образцов для исследований методами электронной микроскопии является нанесение покрытия из проводящих материалов. Этот шаг необходим в первую очередь для того, чтобы избежать скопления заряда на образце в процессе исследования, который существенно снижает качество получаемого изображения. Напыляемыми материалами в числе прочих могут быть золото, платина, палладий, углерод и др.
Золотое и платиновое напыления в большинстве случаев используются для исследований биологических образцов в высоком разрешении, в то время как углеродное покрытие более применимо для пробоподготовки твердых материалов, таких как металлы или минералы.
Техники покрытия также могут быть различны: нанесение тонких пленок металлов на поверхность образца методом магнетронного распыления, а также углерод методом термического резистивного импульсного испарения.
Что входит в систему:
- базовый блок с управляющей электроникой;
- магнетрон;
- вакуумная система с турбомолекулярным насосом;
- предметный столик Ø100 мм с вращением;
- большая камера Ø156х150 мм из боросиликатного стекла;
- сенсорный экран управления 7″;
- программное обеспечение на русском языке;
- книга «рецептов» напыления;
- стартовый набор расходных материалов.
В зависимости от предполагаемой области применения, система напыления может быть дополнительно оснащена:
- измерителем толщины покрытия на основе кварцевых весов;
- держателем образцов под задачи;
- вакуумной системой на базе форвакуумного насоса;
- различной комплектацией расходных материалов (металлические мишени, кварцевые кристаллы, дополнительный набор уплотнителей, набор для чистки камеры);
- предметным столиком с нагревом для увеличения адгезии покрытия*;
- сменной камерой Ø156х150 мм из боросиликатного стекла.
* отмечены опции под заказ.
| Параметры | C156TS | |
|---|---|---|
| Испаритель | ||
| Материалы напыления | Металлы | |
| Тип испарителя | Магнетрон постоянного тока | |
| Максимальный ток | Разряда — 100 мА | |
| Вакуумная камера | ||
| Материал вакуумной камеры | Боросиликатное, прозрачное бесцветное стекло | |
| Внутренний диаметр вакуумной камеры | 156 мм | |
| Высота вакуумной камеры | 150 мм | |
| Диаметр столика для образцов | 100 мм | |
| Вакуумная система | Полностью автоматическая, форвакуумный* / турбомолекулярный насосы | |
| Производительность форвакуумного насоса | 19,8 м3/ч | |
| Производительность турбомолекулярного насоса | 90 л/с | |
| Предметный столик | ||
| Максимальная скорость вращения столика | 20 оборотов в мин. | |
| Держатели образцов | Стандартный держатель, держатель под задачи* | |
| Программное обеспечение | ||
| Управление процессом напыления | Графический сенсорный экран 7” | |
| Измерение давления (встроенный датчик вакуума) | Диапазон: 1000 мбар – 10-3 мбар (форв. насос) / 1000 мбар – 10-9 мбар (турбонасос) | |
| Измерение толщины покрытия* | Кварцевые весы* | |
| Сохранение и загрузка пользов. рецептов | >1000 шт | |
| Габариты и вес (без опций) | 450х300х400 мм, 22 кг | |
* отмечены доступные опции.