Электронный двулучевой микроскоп Aquilos™ Cryo-FIB

Электронный двулучевой микроскоп Aquilos™ Cryo-FIB

Электронный двулучевой микроскоп для изготовления ламелей для крио-томографии и прочих крио-приложений.



Aquilos™ Cryo-FIB - это первый двулучевой микроскоп, специально разработанный для изготовления ламелей для криотомографии in-situ. Прибор совмещает инновационную электронную и ионную оптику с продвинутым программным обеспечением. Технологии, получившие признание на платформе Scios, в этом приборе совмещены со специально разработанным криостоликом, станцией подготовки образца, устройством переноса и программным обеспечением. Таким образом, система позволяет создавать ламели высочайшего качества по заданным параметрам и с высокой воспроизводимостью.

Изготовление ламелей для криотомографии с использованием автозагрузчика TEM

Комплекс аппаратных решений внутри камеры микроскопа обеспечивает оптимальные условия для пробоподготовки при низких температурах. Образцы помещаются на специальные сеточки (AutoGrids), которые можно загрузить в автозагрузчик TEM.

Изготовление тонких ламелей без артефактов

Травление ионным пучком исключает механическое повреждение образца, которое может иметь место при использовании крио-ультрамикротома.

Высокая точность

Программное обеспечение с простым и понятным пользовательским интерфейсом в сочетании с корреляционным ПО MAPS делает Aquilos™ Cryo-FIB простым в использовании даже для неподготовленных пользователей.

Электронная оптика:

  • Высокостабильный катод Шоттки;
  • Максимальный срок службы катода: 12 месяцев;
  • Простая установка и обслуживание электронной пушки: автоматический отжиг, автостарт и никакой механической настройки;
  • Постоянный контроль тока пучка и оптимизированный угол диафрагм;
  • Двойное отклонение столика при сканировании;
  • Двойная объективная линза, сочетающая электромагнитную и электростатическую линзы • Программная помощь в настройке и возможность сохранения пресетов;
  • Ток пучка: 1.5 пА-400 нА;
  • Диапазон ускоряющих напряжений: 200 В-30 кВ;
  • Разрешение на эуцентрическом рабочем расстоянии: 6 нм на 2 кВ.

Ионная оптика:

  • Срок службы источника: 1300 часов;
  • Напряжение: 500 В-30 кВ;
  • Ток пучка: 1.5 пА-65 нА (15 шагов);
  • Режим подавления дрейфа по умолчанию для непроводящих образцов;
  • Разрешение: 7.0 нм на 30 кВ.

Вакуумная система:

  • Полностью безмасляная вакуумная система в микроскопе;
  • 1х турбомолекулярный насос с турборегулятором, 240 л/с;
  • 1х спиральный насос;
  • 3х геттеро-ионный насос, 25 л/с;
  • Дополнительный роторный насос для теплообменника;
  • Сухой мембранный насос для станции подготовки;
  • Вакуум в камере с образцом при комнатной температуре: <4e-4 Па;
  • Вакуум в камере в криоусловиях: <6e-5 Па.

Крио-столик:

  • Фиксированный вращающийся криостолик;
  • Вращение: 360° (бесконечно);
  • Компуцентрическое вращение и наклон;
  • Время, необходимое для полного охлаждения: <30 минут;
  • Диапазон перемещения по осям XY: 110 мм;
  • Диапазон перемещения по оси Z: 65 мм;
  • Диапазон наклона в крио-режиме (эуцентрическое рабочее расстояние): от -15° до +55°.

Особенности процесса получения изображений:

  • Диапазон выдержки от 25 нс до 25 мс/пиксел;
  • Разрешение до 6144×4096 пикселов (до 64k с использованием ПО MAPS);
  • Тип файлов: TIFF (8, 16, 24-бит), BMP или JPEG;
  • Вращение при электронном сканировании: 360°;
  • Система Thermo Scientic SmartSCANTM (усреднение или интегрирование по 256 кадрам);
  • Система компенсации дрейфа DCFI (Drift Compensated Frame Integration).

Система:

  • 64-бит Windows 7, клавиатура, мышь;
  • До четырех изображений разных пучков или сигналов в реальном времени;
  • 3×24″ широкоэкранных монитора с разрешением 1920×1200 пикселов;
  • Мультифункциональная контрольная панель.

Программное обеспечение:

  • Концепция графического интерфейса «Beam per view», суть которой заключается в наличии четырех активных квадрантов с разными данными одновременно;
  • ПО Thermo Scientic SPI™ (одновременное травление ионным пучком с контролем изображения в СЭМ);
  • ПО Thermo Scienti c iSPI™ (последовательная съемка в СЭМ и травление ионным пучком);
  • ПО Thermo Scienti c iRTM™ software (Интегрированный мониторинг в реальном времени) и несколько режимов иммерсии ионного пучка для продвинутой работы СЭМ и электронной пучка;
  • Поддерживаемые паттерны: прямоугольник, линия, круг, очистка, кросс-секционирование, регулярное кросс-секционирование, многоугольник, bitmap, stream file, зоны исключения, массивы;
  • Навигация по образцу на оптическом изображении;
  • Функции Undo / Redo.