Сканирующий электронный микроскоп Prisma E

Сканирующий электронный микроскоп с энергодисперсионным анализатором в комплекте. Гибкое решение для широкого спектра исследовательских задач по доступной цене.



Удобное изучение любых образцов в высоком вакууме, низком вакууме и режиме естественной среды.

Prisma E - это современное, гибкое решение для текущих и будущих исследовательских задач. Обладая тремя режимами визуализации - высоким вакуумом, низким вакуумом и режимом естественной среды ESEM™, он поддерживает широкий диапазон любых образцов для SEM системы. Характеризация образца завершается быстрым и точным элементным анализом с помощью детектора UltraDry EDS и программной платформы Pathfinder.

SEM Prisma E имеет простой в использовании и удобный пользовательский интерфейс с функциями, обеспечивающими максимальную производительность и позволяющими собирать все данные. Навигационные функции включают в себя автоматическую навигацию, drag-to-zoom и другие, включенные в стандартную комплектацию. Технология SmartSCAN ™ - это функция интеллектуального сканирования для снижения шума и повышения качественных данных.

Аналитический SEM Thermo Scientific Prisma E производит высококачественные изображения и анализ, от традиционных образцов, таких как металлы, трещины и полированные участки, до непроводящих мягких материалов. Режим естественной среды ESEM позволяет анализировать в парах воды гидратированные биологические образцы в нативном состоянии, минимизируя процесс пробоподготовки.

В базовую комплектацию Prisma E входит:

  • Высокопроизводительный SEM с термоэлектронной эмиссионной (W) колонной;
  • Компьютер с 24’ LCD монитором (Windows 7);
  • Рабочий стол;
  • CCD камера;
  • Мультифункциональный держатель на 7 слотов.

Детекторы:

  • Детектор вторичных электронов Эверхарта-Торнли (SED) для топографического контраста материалов в режиме высокого вакуума;
  • Large Field GSED (газовый детектор вторичных электронов для топографического контраста в режиме низкого вакуума;
  • ESEM GSED со встроенным ограничением давления диафрагмы;
  • 2-канальный (DBS) детектор обратно-рассеянных электронов для топографического и z-контраста материалов.

Вакуумная система:

  • Турбомолекулярный насос: 1×250 имп/с;
  • Форвакуумный насос: 1 шт.

Программное обеспечение:

  • xT SEM – простой и удобный пользовательский интерфейс;
  • Smart ScanTM – функция интеллектуального сканирования;
  • DCFI – интегрированная система компенсации дрейфа;
  • PathfinderTM EDS ПО для аналитики с ZAF, Proza и Cliff Lorimer коррекциями и множеством функций набора спектра, режим поэлементного картирования и др.

В зависимости от предполагаемой области применения, микроскоп может быть дополнительно оснащен:

  • Оптической камерой Nav-Cam для удобной навигации по образцу;
  • Уникальным выдвижным многосегментным детектором обратно-рассеянных электронов DBS;
  • Устанавливаемым на линзу газовым аналитическим детектором обратнорассеянных электронов DBS-GAD для режимов низкого вакуума и ESEM;
  • Уникальным выдвижным многосегментным детектором прошедших электронов STEM3+;
  • Пельтье столиком WetSTEM™ интегрированным с STEM для изучения тонких и влажных образцов;
  • Детектором катодолюминесценции RGB-CLD;
  • Внутриколонным ICD детектором для использования режима замедления пучка;
  • Специальными держателями образцов (возможен заказ держателей под нужды пользователя);
  • Наноманипуляторами и зондами;
  • Криостоликом Пельтье от -20°C до +60°C;
  • Функцией замедления пучка Beam deceleration в диапазоне от -4000В до +50В;
  • Плазменной очисткой образца/камеры Plasma Cleaner;
  • Модулем криоочистки образца CryoCleaner;
  • Системой для быстрой загрузки Quick Loader;
  • Различными анализаторами: EDS, EBSD, CL, WDS, Raman;
  • Системой рисования электронным лучом Patterning;
  • Амперметром для измерения тока на образце;
  • Акустическим кожухом для вакуумной системы;
  • Полностью безмасляного форвакуумного насоса;
  • Дополнительным компьютером/монитором;
  • Джойстиком;
  • Ручной консолью управления;
  • Системой навигации и ПО Correlative Navigation, MAPS Tilting and Stitching;
  • ПО MAPS для автоматического получения массивных изображений и их обработки;
  • ПО AutoScript4 для написания скриптов и автоматизации работы;
  • TopoMaps для характеризации изображений и 3D реконструкции поверхности;
  • ПО дополнительного анализа изображений и 3D реконструкций Avizo/Amira/PerGeos;
  • ПО для удаленного доступа и диагностики системы;
  • ПО для in situ экспериментов и контроля температурных столиков 1000°C — 1400°C, Пельтье столика -20°C — +60°C.

Камера для образцов:

  • Размер камеры: 340 мм;
  • Перемещение столика: 110*110 (x,y);
  • Вращение: n*360°;
  • Наклон: -15°/+90°;
  • Максимальный размер образца: 122 мм ⌀ (2 кг).

Рабочее ускоряющее напряжение: 200В — 30кВ.

Разрешение:

  • 3 нм на 30 кВ (SE) — HiVac;
  • 4 нм на 30 кВ (BSE) — HiVac;
  • 8 нм на 3 кВ (SE) — HiVac;
  • 3 нм на 30 кВ (SE) — ESEM.

Уровень вакуума в камере:

  • (высокий вакуум) < 6 × 10-4 Па;
  • (низкий вакуум) до 200 Па;
  • (ESEM) до 4000 Па.