Skip

Scios™



Электронная колонна NiCol с тремя внутрилинзовыми детекторами, высокопроизводительная ионная колонна, автоматическое послойное травление для 3D характеризации, подготовка образцов для TEM.

запросить коммерческое предложение...запросить сервисную поддержку...

Благодаря электронно-оптической колонне последнего поколения FEI NiCol с термополевым катодом типа Шоттки, трем независимым внутрилинзовым детекторам Trinity и высокой плотности тока ионного пучка двулучевые электронные микроскопы Scios обладают максимальной производительностью для проведения послойного 3D исследования материалов, обеспечивая при этом суб-нанометровое разрешение. Кроме того микроскопы Scios превосходно справляются с задачей автоматического приготовления ламелей для исследования в TEM.

Поперечные срезы и 3D характеризация

Прецизионный ионный пучок Scios быстро приготовит поперечный срез образца в заданном месте поверхности будь то деликатный биологический образец или сверхпрочная композитная керамика. Электронная колонна NiCol способна благодаря системе детектирования Trinity за одно сканирование записать информацию со всех детекторов одновременно, повышая производительность исследования поперечных срезов в разы. При работе с деликатными образцами электронная колонна NiCol может обеспечить невероятно низкую энергию электронов первичного пучка всего в 20 эВ без потери разрешения и контраста.

3D характеризация объектов с помощью Scios максимально автоматизирована. Программный пакет AutoSlice and View сам наносит прицельные метки на образец и производит выравнивание стока изображений. Специализированное программное обеспечение FEI Amira произведет реконструкцию данных, включая деконволюцию спектров характеристического рентгеновского излучения для восстановления элементного состава с высоким разрешением по оси Z.

Пробоподготовка для S/TEM

Быстрая, надежная и воспроизводимая подготовка образцов для TEM, включая крио-TEM, простая задача для Scios. Модуль AutoTEM вырежет одну или сразу много ламелей в заданном месте поверхности без участия оператора. Сверх точный манипулятор FEI EasyLift, двигающийся плавно и абсолютно предсказуемо, позволит с легкостью достать и установить ламель на сетку. Финальное утонение ламели в Scios можно производить, наблюдая за процессом в реальном времени с помощью STEM детектора. Финальная полировка ионами с энергией 500 эВ обеспечит отсутствие аморфного слоя, ровный контраст в TEM без артефактов.


Максимальное​ разрешение электронной колонны0,8 нм​ (30 кВ, STEM)
1,0 нм (15 кВ, SE)
1,6 нм (1 кВ, SE)
Максимальное разрешение ионной колонны3,0 нм​
Пределы перемещения столика ​В плоскости XY: 110 x 110 мм
вдоль оси Z: 65 мм
наклон: -15 +90 градусов