Skip
Микро- и нано-электроника

Партнеры



Oxford Instruments Plasma Technology

Oxford Instruments Plasma Technology Оборудование для постановки передовых технологических процессов и изготовления структур для микро и нано-электроники


Компания Oxford Instruments Plasma Technology  предлагает  гибко  настраиваемое оборудование для постановки передовых технологических процессов и изготовления микро и нано-структур.

  • Атомно-слоевое осаждение (ALD)
  • Плазменные процессы осаждения/травления (PECVD, RIE (РИТ), ICP-RIE (ИСП-РИТ), PE (ПХТ))
  • Ионно-лучевое осаждение/травление (IBE, IBS, RIBE, CAIBE/IBS, DIBD)
  • Магнетронное напыление
  • Выращивание наноструктур
  • Гидридная эпитаксия (HVPE)


Компания OI Plasma Technology производит системы классом от отдельных компактных установок для решения исследовательских  задач  и  опытного  производства  до кластерного  оборудования  высокой  пропускной способности  для  решения  задач промышленного  производства.  Все  системы поставляются  с  программным  обеспечением PC2000TM,  настроенным  точно  под поставляемую  систему.  Отличительной особенностью работы компании является всесторонняя поддержка пользователей, отказоустойчивость оборудования и обширная база данных по процессам для работы с различными материалами. Благодаря высокому качеству оборудованию OI Plasma Technology является общепризнанным лидером в области плазмохимических процессов. На данный момент по всему миру установлено около 3000 систем.