Российскими учеными произведен детальный анализ перспективных металлических особо твердых покрытий TiAlCrSiYN/TiAlCrN, многослойных покрытий для плазмонных технологий и элементов солнечных батарей.
Исследование химической неоднородности проводили методом времяпролетной масс-спектроскопии на приборе TOF.SIMS5-100 производства ION TOF GmbH. Прибор снабжен времяпролетным анализатором масс-положительных и отрицательных вторичных ионов с системой EDR, позволяющей анализировать сигналы малой интенсивности при подавлении каскадных интенсивных потоков вторичных ионов.
Высочайшее глубинное и пространственное разрешение времяпролетной масс-спектроскопии позволяет детально исследовать пути миграции химических элементов в наноламинатных многослойных структурах при их термической обработке. В работе исследовали массоперенос при окислении многослойного износостойкого покрытия на режущем инструменте при его окислении.
Учитывая, что масс-спектроскопия позволяет с высоким локальным разрешением представить трехмерную пространственную картину распределения химических элементов, в настоящей работе исследовали многослойное наноламинатное металл-диэлектрическое покрытие A2O3/Ag, нанесенное на кремний методом ионно-плазменного осаждения. Для функционирования такого покрытия в качестве плазмонного метаматериала критическим является высокое совершенство меж фазных границ раздела без ионного перемешивания слоев на стадии изготовления.
Работа выполнялась с целью изучения окисления TiAlCrSiYN / TiAlCrN покрытия при отжиге в атмосфере в равновесных условиях и особенностей диффузии поверхностно-активных элементов Si и Y в многослойном нанокомпозите.
Подробнее обо всех проведенных исследованиях вы можете узнать, прочитав публицацию целиком по ссылке.