Сканирующий электронный микроскоп Prisma E
Сканирующий электронный микроскоп с энергодисперсионным анализатором в комплекте. Гибкое решение для широкого спектра исследовательских задач по доступной цене.
Удобное изучение любых образцов в высоком вакууме, низком вакууме и режиме естественной среды.
Prisma E - это современное, гибкое решение для текущих и будущих исследовательских задач. Обладая тремя режимами визуализации - высоким вакуумом, низким вакуумом и режимом естественной среды ESEM™, он поддерживает широкий диапазон любых образцов для SEM системы. Характеризация образца завершается быстрым и точным элементным анализом с помощью детектора UltraDry EDS и программной платформы Pathfinder.
SEM Prisma E имеет простой в использовании и удобный пользовательский интерфейс с функциями, обеспечивающими максимальную производительность и позволяющими собирать все данные. Навигационные функции включают в себя автоматическую навигацию, drag-to-zoom и другие, включенные в стандартную комплектацию. Технология SmartSCAN ™ - это функция интеллектуального сканирования для снижения шума и повышения качественных данных.
Аналитический SEM Thermo Scientific Prisma E производит высококачественные изображения и анализ, от традиционных образцов, таких как металлы, трещины и полированные участки, до непроводящих мягких материалов. Режим естественной среды ESEM позволяет анализировать в парах воды гидратированные биологические образцы в нативном состоянии, минимизируя процесс пробоподготовки.
В базовую комплектацию Prisma E входит:
- Высокопроизводительный SEM с термоэлектронной эмиссионной (W) колонной;
- Компьютер с 24’ LCD монитором (Windows 7);
- Рабочий стол;
- CCD камера;
- Мультифункциональный держатель на 7 слотов.
Детекторы:
- Детектор вторичных электронов Эверхарта-Торнли (SED) для топографического контраста материалов в режиме высокого вакуума;
- Large Field GSED (газовый детектор вторичных электронов для топографического контраста в режиме низкого вакуума;
- ESEM GSED со встроенным ограничением давления диафрагмы;
- 2-канальный (DBS) детектор обратно-рассеянных электронов для топографического и z-контраста материалов.
Вакуумная система:
- Турбомолекулярный насос: 1×250 имп/с;
- Форвакуумный насос: 1 шт.
Программное обеспечение:
- xT SEM – простой и удобный пользовательский интерфейс;
- Smart ScanTM – функция интеллектуального сканирования;
- DCFI – интегрированная система компенсации дрейфа;
- PathfinderTM EDS ПО для аналитики с ZAF, Proza и Cliff Lorimer коррекциями и множеством функций набора спектра, режим поэлементного картирования и др.
В зависимости от предполагаемой области применения, микроскоп может быть дополнительно оснащен:
- Оптической камерой Nav-Cam для удобной навигации по образцу;
- Уникальным выдвижным многосегментным детектором обратно-рассеянных электронов DBS;
- Устанавливаемым на линзу газовым аналитическим детектором обратнорассеянных электронов DBS-GAD для режимов низкого вакуума и ESEM;
- Уникальным выдвижным многосегментным детектором прошедших электронов STEM3+;
- Пельтье столиком WetSTEM™ интегрированным с STEM для изучения тонких и влажных образцов;
- Детектором катодолюминесценции RGB-CLD;
- Внутриколонным ICD детектором для использования режима замедления пучка;
- Специальными держателями образцов (возможен заказ держателей под нужды пользователя);
- Наноманипуляторами и зондами;
- Криостоликом Пельтье от -20°C до +60°C;
- Функцией замедления пучка Beam deceleration в диапазоне от -4000В до +50В;
- Плазменной очисткой образца/камеры Plasma Cleaner;
- Модулем криоочистки образца CryoCleaner;
- Системой для быстрой загрузки Quick Loader;
- Различными анализаторами: EDS, EBSD, CL, WDS, Raman;
- Системой рисования электронным лучом Patterning;
- Амперметром для измерения тока на образце;
- Акустическим кожухом для вакуумной системы;
- Полностью безмасляного форвакуумного насоса;
- Дополнительным компьютером/монитором;
- Джойстиком;
- Ручной консолью управления;
- Системой навигации и ПО Correlative Navigation, MAPS Tilting and Stitching;
- ПО MAPS для автоматического получения массивных изображений и их обработки;
- ПО AutoScript4 для написания скриптов и автоматизации работы;
- TopoMaps для характеризации изображений и 3D реконструкции поверхности;
- ПО дополнительного анализа изображений и 3D реконструкций Avizo/Amira/PerGeos;
- ПО для удаленного доступа и диагностики системы;
- ПО для in situ экспериментов и контроля температурных столиков 1000°C — 1400°C, Пельтье столика -20°C — +60°C.
Камера для образцов:
- Размер камеры: 340 мм;
- Перемещение столика: 110*110 (x,y);
- Вращение: n*360°;
- Наклон: -15°/+90°;
- Максимальный размер образца: 122 мм ⌀ (2 кг).
Рабочее ускоряющее напряжение: 200В — 30кВ.
Разрешение:
- 3 нм на 30 кВ (SE) — HiVac;
- 4 нм на 30 кВ (BSE) — HiVac;
- 8 нм на 3 кВ (SE) — HiVac;
- 3 нм на 30 кВ (SE) — ESEM.
Уровень вакуума в камере:
- (высокий вакуум) < 6 × 10-4 Па;
- (низкий вакуум) до 200 Па;
- (ESEM) до 4000 Па.