Сканирующий электронный микроскоп Axia ChemiSEM

Доступный и надежный материаловедческий СЭМ с принципиально новым подходом к количественному элементному анализу



Сканирующий электронный микроскоп для основных задач материаловедения с термоэмиссионным катодом. В базовую комплектацию включен новейший энергодисперсионный спектрометр-анализатор химического состава (EDS) с функцией ChemiSEM.

ChemiSEM постоянно в фоновом режиме регистрирует сигнал EDS спектрометра и в реальном времени производит одновременный анализ морфологии и количественного химического состава образца. Эта уникальная технология позволяет оператору мгновенно получать информацию о распределении элементов, находить области для детального исследования. 

Axia ChemiSEM - чрезвычайно гибкий прибор, позволяющий работать в режимах высокого и низкого вакуума с образцами весом до 10 кг и высотой до 128 мм, сохраняя при этом возможность перемещения в плоскости XY. Для удобной загрузки образца дверь камеры открывается полностью, освобождая широкий проем для работы двумя руками.

Axia ChemiSEM обладает высокой производительностью химического анализа, простотой настройки и обслуживания и вместительной вакуумной камерой, что позволяет найти применение на современном производстве в задачах контроля производственных технологических процессов и контроля качества продукции.

Интересен также прибор и для фундаментальных материаловедческих исследований благодаря дополнительным аналитическим приставкам, таким как нагревательный стол с максимальной температурой образца 1100°С и детектор катодолюминесценции.

В базовую комплектацию Axia ChemiSEM входит:

  • Высокопроизводительный SEM с термоэмиссионной (W) колонной;
  • Компьютер с 24’ LCD монитором (Windows 7);
  • Рабочий стол;
  • Панель управления оператора;
  • Мультифункциональный держатель образцов.

Детекторы:

  • Детектор вторичных электронов Эверхарта-Торнли (SED) для топографического контраста материалов в режиме высокого вакуума;
  • Энергодисперсионный спектрометр TrueSight EDS с функцией ChemiSEM;
  • Автоматический вдвижной (DBS) детектор обратно-рассеянных электронов для топографического и z-контраста материалов.

Вакуумная система:

  • Режим высокого вакуума;
  • Режим низкого вакуума (опция).

Программное обеспечение:

  • xT SEM – простой и удобный пользовательский интерфейс;
  • Smart ScanTM – функция интеллектуального сканирования;
  • DCFI – интегрированная система компенсации дрейфа;
  • ChemiSEM ПО для количественного элементного химического анализа в режиме реального времени.
  • Режим торможения электронного пучка Beam Deceleration;
  • Нагревательный стол CleanHeater (до 1100°C);
  • Детектор катодолюминесценции Photon;
  • AutoScript 4  — программный интерфейс для языка программирования Python, позволяющий автоматизировать рутинные работы на микроскопе;
  • Thermo Scientific TopoMaps — мощное ПО для анализа изображений и 3D реконструкции поверхности.

Камера для образцов:

  • Размер камеры: 280 мм внутренняя ширина;
  • Перемещение столика: 120*120 (XY);
  • Вращение: n*360°;
  • Наклон: -15°/+90°;
  • Максимальный вес образца: 10 кг (с перемещением по XY);
  • Максимальная высота образца: 128 мм.

Рабочее ускоряющее напряжение:

  • 200В — 30кВ.

Разрешение:

  • 3 нм на 30 кВ (SE) — HiVac;
  • 3 нм на 30 кВ (SE) — LoVac (опция);
  • 8 нм на 3 кВ (SE) — HiVac;
  • 7 нм на 3 кВ (BSE) — HiVac + Beam Deceleration (опция).