Сканирующий электронный микроскоп Axia ChemiSEM
Доступный и надежный материаловедческий СЭМ с принципиально новым подходом к количественному элементному анализу
Сканирующий электронный микроскоп для основных задач материаловедения с термоэмиссионным катодом. В базовую комплектацию включен новейший энергодисперсионный спектрометр-анализатор химического состава (EDS) с функцией ChemiSEM.
ChemiSEM постоянно в фоновом режиме регистрирует сигнал EDS спектрометра и в реальном времени производит одновременный анализ морфологии и количественного химического состава образца. Эта уникальная технология позволяет оператору мгновенно получать информацию о распределении элементов, находить области для детального исследования.
Axia ChemiSEM - чрезвычайно гибкий прибор, позволяющий работать в режимах высокого и низкого вакуума с образцами весом до 10 кг и высотой до 128 мм, сохраняя при этом возможность перемещения в плоскости XY. Для удобной загрузки образца дверь камеры открывается полностью, освобождая широкий проем для работы двумя руками.
Axia ChemiSEM обладает высокой производительностью химического анализа, простотой настройки и обслуживания и вместительной вакуумной камерой, что позволяет найти применение на современном производстве в задачах контроля производственных технологических процессов и контроля качества продукции.
Интересен также прибор и для фундаментальных материаловедческих исследований благодаря дополнительным аналитическим приставкам, таким как нагревательный стол с максимальной температурой образца 1100°С и детектор катодолюминесценции.
В базовую комплектацию Axia ChemiSEM входит:
- Высокопроизводительный SEM с термоэмиссионной (W) колонной;
- Компьютер с 24’ LCD монитором (Windows 7);
- Рабочий стол;
- Панель управления оператора;
- Мультифункциональный держатель образцов.
Детекторы:
- Детектор вторичных электронов Эверхарта-Торнли (SED) для топографического контраста материалов в режиме высокого вакуума;
- Энергодисперсионный спектрометр TrueSight EDS с функцией ChemiSEM;
- Автоматический вдвижной (DBS) детектор обратно-рассеянных электронов для топографического и z-контраста материалов.
Вакуумная система:
- Режим высокого вакуума;
- Режим низкого вакуума (опция).
Программное обеспечение:
- xT SEM – простой и удобный пользовательский интерфейс;
- Smart ScanTM – функция интеллектуального сканирования;
- DCFI – интегрированная система компенсации дрейфа;
- ChemiSEM ПО для количественного элементного химического анализа в режиме реального времени.
- Режим торможения электронного пучка Beam Deceleration;
- Нагревательный стол CleanHeater (до 1100°C);
- Детектор катодолюминесценции Photon;
- AutoScript 4 — программный интерфейс для языка программирования Python, позволяющий автоматизировать рутинные работы на микроскопе;
- Thermo Scientific TopoMaps — мощное ПО для анализа изображений и 3D реконструкции поверхности.
Камера для образцов:
- Размер камеры: 280 мм внутренняя ширина;
- Перемещение столика: 120*120 (XY);
- Вращение: n*360°;
- Наклон: -15°/+90°;
- Максимальный вес образца: 10 кг (с перемещением по XY);
- Максимальная высота образца: 128 мм.
Рабочее ускоряющее напряжение:
- 200В — 30кВ.
Разрешение:
- 3 нм на 30 кВ (SE) — HiVac;
- 3 нм на 30 кВ (SE) — LoVac (опция);
- 8 нм на 3 кВ (SE) — HiVac;
- 7 нм на 3 кВ (BSE) — HiVac + Beam Deceleration (опция).