Электронный двулучевой микроскоп Aquilos™ Cryo-FIB

Изготовление ламелей для криотомографии с использованием автозагрузчика TEM

Комплекс аппаратных решений внутри камеры микроскопа обеспечивает оптимальные условия для пробоподготовки при низких температурах. Образцы помещаются на специальные сеточки (AutoGrids), которые можно загрузить в автозагрузчик TEM.

Изготовление тонких ламелей без артефактов

Травление ионным пучком исключает механическое повреждение образца, которое может иметь место при использовании крио-ультрамикротома.

Высокая точность

Программное обеспечение с простым и понятным пользовательским интерфейсом в сочетании с корреляционным ПО MAPS делает Aquilos™ Cryo-FIB простым в использовании даже для неподготовленных пользователей.

Электронная оптика:

• Высокостабильный катод Шоттки;
• Максимальный срок службы катода: 12 месяцев;
• Простая установка и обслуживание электронной пушки: автоматический отжиг, автостарт и никакой механической настройки;
• Постоянный контроль тока пучка и оптимизированный угол диафрагм;
• Двойное отклонение столика при сканировании;
• Двойная объективная линза, сочетающая электромагнитную и электростатическую линзы • Программная помощь в настройке и возможность сохранения пресетов;
• Ток пучка: 1.5 пА-400 нА;
• Диапазон ускоряющих напряжений: 200 В-30 кВ;
• Разрешение на эуцентрическом рабочем расстоянии: 6 нм на 2 кВ.

Ионная оптика:

• Срок службы источника: 1300 часов;
• Напряжение: 500 В-30 кВ;
• Ток пучка: 1.5 пА-65 нА (15 шагов);
• Режим подавления дрейфа по умолчанию для непроводящих образцов;
• Разрешение: 7.0 нм на 30 кВ.

Вакуумная система:

• Полностью безмасляная вакуумная система в микроскопе;
• 1х турбомолекулярный насос с турборегулятором, 240 л/с;
• 1х спиральный насос;
• 3х геттеро-ионный насос, 25 л/с;
• Дополнительный роторный насос для теплообменника;
• Сухой мембранный насос для станции подготовки;
• Вакуум в камере с образцом при комнатной температуре: <4e-4 Па;
• Вакуум в камере в криоусловиях: <6e-5 Па.

Крио-столик:

• Фиксированный вращающийся криостолик;
• Вращение: 360° (бесконечно);
• Компуцентрическое вращение и наклон;
• Время, необходимое для полного охлаждения: <30 минут;
• Диапазон перемещения по осям XY: 110 мм;
• Диапазон перемещения по оси Z: 65 мм;
• Диапазон наклона в крио-режиме (эуцентрическое рабочее расстояние): от -15° до +55°.

Особенности процесса получения изображений:

• Диапазон выдержки от 25 нс до 25 мс/пиксел;
• Разрешение до 6144×4096 пикселов (до 64k с использованием ПО MAPS);
• Тип файлов: TIFF (8, 16, 24-бит), BMP или JPEG;
• Вращение при электронном сканировании: 360°;
• Система Thermo Scientic SmartSCANTM (усреднение или интегрирование по 256 кадрам);
• Система компенсации дрейфа DCFI (Drift Compensated Frame Integration).

Система:

• 64-бит Windows 7, клавиатура, мышь;
• До четырех изображений разных пучков или сигналов в реальном времени;
• 3×24″ широкоэкранных монитора с разрешением 1920×1200 пикселов;
• Мультифункциональная контрольная панель.

Программное обеспечение:

• Концепция графического интерфейса «Beam per view», суть которой заключается в наличии четырех активных квадрантов с разными данными одновременно;
• ПО Thermo Scientic SPI™ (одновременное травление ионным пучком с контролем изображения в СЭМ);
• ПО Thermo Scienti c iSPI™ (последовательная съемка в СЭМ и травление ионным пучком);
• ПО Thermo Scienti c iRTM™ software (Интегрированный мониторинг в реальном времени) и несколько режимов иммерсии ионного пучка для продвинутой работы СЭМ и электронной пучка;
• Поддерживаемые паттерны: прямоугольник, линия, круг, очистка, кросс-секционирование, регулярное кросс-секционирование, многоугольник, bitmap, stream file, зоны исключения, массивы;
• Навигация по образцу на оптическом изображении;
• Функции Undo / Redo.

• Aquilos cryo FIB Datasheet;
• Криоэлектронная микроскопия FEI.