Ионно-лучевой имплантер IBS Flexion

Flexion - это инструмент как для научных исследований так и для массового производства. Главными отличиями платформы Flexion от платформы IMC являются: возможность использования пластин размером 200 мм, ускоряющее напряжение для однозарядных ионов может достигать 400 кэВ, а также использование катодов с индуктивным нагревом, что существенно повышает ток процесса. Большой выбор опций позволяет дополнять комплектацию имплантера в соответствии с потребностями Заказчика. 

Ключевые параметры системы:

• Автоматическая/ручная система загрузки подложек (диаметром до 200 мм);
• Собственный модуль векторного сканирования предоставляет возможность выбора из предварительно подготовленного или самостоятельно запрограммированного шаблона сканирования;
• использование ионных источников с косвенным нагревом катода;
• Специализированное ПО с возможностью доступа ко всем параметрам системы;
• «Plug&Play» оснастка для возможности реализации технологических процессов с температурами подложек от -150°C до +700°C;
• Возможность имплантации ионов более 60 различных элементов (выделены) благодаря использованию специальной техники и технологий.

• Энергия однозарядных ионов: 3-400 кэВ;
• Диапазон доз имплантируемых материалов от 5х10¹⁰ до 5х10¹⁸ ат/см²;
• Возможность имплантирования ионов двойного заряда;
• Угол поворота подложки от 0° до 90°;
• Ток пучка до 3000 мкА;
• Полностью настраиваемая в соответствие с требованиями заказчика конфигурация (установка более производительной системы откачки, оптимизация установки для использования пластин разного диаметра, дополнительные программные модули, специальная конструкция камеры);
• Практически полная независимость от производителя (IBS) в плане поиска и замены запасных частей (например электронные компоненты доступны напрямую у поставщиков IBS).