[:ru]
Oxford Instruments и Школа Электроники и Компьютерных наук университета Southampton заключили соглашение о сотрудничестве в области научных исследований.
Oxford Instruments установили 10 своих систем в Центре Нанотехнологий университета Southampton, на которых работает исследовательская группа Центра. Технологи компании Oxford Instruments также будут иметь возможность использовать это и другое оборудование.
Такое взаимодействие позволит увеличить количество процессов, предлагаемых компанией Oxford Instruments своим заказчикам.
Установленные системы: FlexAL (атомно-слоевое осаждение), Ionfab300Plus (ионно-лучевая установка), Plasmalab System400 (установка для магнетронного распыления), Plasmalab System80Plus (установка для реактивного ионного травления), Nanofab1000 (установка для выращивания наноструктур), System100 PECVD (плазменное осаждение) и System100 (установки плазменного травления с источником ИСП380).
[:en]
Oxford Instruments и Школа Электроники и Компьютерных наук университета Southampton заключили соглашение о сотрудничестве в области научных исследований.
Oxford Instruments установили 10 своих систем в Центре Нанотехнологий университета Southampton, на которых работает исследовательская группа Центра. Технологи компании Oxford Instruments также будут иметь возможность использовать это и другое оборудование.
Такое взаимодействие позволит увеличить количество процессов, предлагаемых компанией Oxford Instruments своим заказчикам.
Установленные системы: FlexAL (атомно-слоевое осаждение), Ionfab300Plus (ионно-лучевая установка), Plasmalab System400 (установка для магнетронного распыления), Plasmalab System80Plus (установка для реактивного ионного травления), Nanofab1000 (установка для выращивания наноструктур), System100 PECVD (плазменное осаждение) и System100 (установки плазменного травления с источником ИСП380).
[:]