Компания ION TOF GmbH (Германия) совместно с компанией MCA (Бельгия) смогла впервые реализовать самофокусировку ионного пучка с одновременным использованием детектора Orbitrap для исследования полупроводниковых гетероструктур Ge/SiGe/Si и InGaAs/GaAs, что позволило увеличить латеральное разрешение химических карт до 20 нм с одновременным разрешением по массе в 250 000 (что соответствует точности систем с магнитным сектором). Такая химическая и пространственная точность исследований существенно упростит изучение гетероструктур с крайне низкими уровнями легирования наноразмерных гетерослоев.
Прочитать статью целиком (на английском языке) вы можете на сайте.
Все исследования выполнены на времяпролетном масс-спектрометре TOF.SIMS M6.