Платформа PlasmaPro100

Каталог систем обработки полупроводниковых пластин. Заказать оборудование на платформе PlasmaPro100 для процессов травления и осаждения в компании ТехноИнфо

Платформа PlasmaPro80

PlasmaPro80 — платформа для компактных систем с открытой загрузкой для плазмохимических процессов (RIE, ICP etch, ICP CVD и PECVD).

Платформа PlasmaPro800

PlasmaPro800 — платформа с открытой загрузкой и большой вместимостью пластин для реактивного ионного травления и плазменного осаждения.

Платформа PlasmaPro1000

PlasmaPro1000 — платформа для максимальных производительности процессов травления и осаждения ориентированных на LED промышленность.

Cистемы магнетронного распыления

Производство: Scientific Vacuum Systems (SVS)

Комплектация, расположение магнетронов и подложек, производительность системы могут варьироваться по требованию пользователя

Cистемы электронно-лучевого испарения

Производство: Scientific Vacuum Systems (SVS)

Комплектация, производительность и набор опций системы могут варьируются в зависимости от требований пользователя

FlexAL

Производство: Oxford Instruments Plasma Technology

Cистема атомно-слоевого осаждения (ALD) со шлюзовой камерой FlexAL - это система для самоограничивающегося послойного роста сплошных тонких пленок, отличающихся высокой конформностью

Nanofab

Производство: Oxford Instruments Plasma Technology

Система для выращивание нанотрубок,нанопроводов и 2D структур плазмохимическим способом

Ionfab 300Plus

Производство: Oxford Instruments Plasma Technology

Ионно-лучевая система для процессов нанесения и травления.

Cистемы ионно-лучевого травления и нанесения

Производство: Scientific Vacuum Systems (SVS)

Системы ионно-лучевого травления и нанесения для прецизионных технологических процессов