Skip

Процессы травления фосфида индия (InP)

Реактивное ионное травление InP для лазеров с распределённой обратной связью

лаборатория OIPT: глубина канавки 1.2 мкм, высокое аспектное соотношение, анизотропное травление InP на базе химии CH4/H2

Реактивное ионное травление InP для волноводов

лаборатория OIPT: глубина травления 3 мкм

Реактивное ионное травление InP насквозь

лаборатория OIPT, Яттон: сквозная глубина травления InP 100 мкм

Реактивное ионное травление InP с применением ICP источника

лаборатория OIPT: глубина травления InP 10 мкм

Реактивное ионное травление InP/InGaAsP (с ICP) с помощью CH4/H2 химии

лаборатория OIPT: глубина 1.4 мкм, угол наклона стенки 80° (маска - PR, без клэмпинга)