Skip

Процессы ионно-лучевого травления

Ионно-лучевое травление никеля и нихрома (Ni, NiCr)

Травление Ni на глубину 0.3 мкм (Фоторезист не удален) 

Ионно-лучевое травление оксида иттрия-бария-меди (YBCO)

Травление YBCO глубиной 1 мкм с фоторезистом при низких энергиях ионов (с благодарностью к FhG Berlin)


Ионно-лучевое травление платины (Pt)

Травление Pt глубиной 2 мкм


Ионно-лучевое травление золота (Au)

Глубокое травление Au 3 мкм с фоторезистивной маской (не удалена)


Реактивное ионно-лучевое травление ниобата лития (LiNbO3)

Глубокое анизотропное травление LiNbO3 - 10 мкм (лаборатория OIPT)