Микро- и нано-электроникаАнализ поверхностиИсследование структуры и химического составаБиология и биотехнологияГеология и петрофизикаТехнологическое оборудование
Процессы травления для нужд Si микроэлектроники
Реактивное ионное травление стэка SiO2/TiO2
Реактивное ионное травление стэка SiO2/TiO2 на глубину 4 мкм
Реактивное ионное травление структур SiGe и Si/SiGe/Si
Рурский университет Бохума: анизотропное травление гетероструктуры Si/SiGe/Si
Наномасштабное и глубокое травление германия (Ge)
Королевский технологический институт, Стокгольм: решетка из Ge с полушагом 25 нм
Анализ отказов
Процессы травления для проведения анализа отказов