Skip

Процессы травления органических материалов

Травление органических материалов

Травление органики. Общие сведения.

Реактивное травление алмаза (с применением ICP источника)

Анизотропное травление алмаза на глубину 5 мкм, со скоростью 50 нм/мин

Травление бензоциклобутена (BCB) с применением ICP источника

Институт прикладной физики твердого тела Фраунгофера

Анизотропное реактивное травление полиметилметакрилата (ПММА)

Технологический институт микроструктур, Карлсруэ: глубокое травление ПММА (с помощью O2)

Сухое травление полидиметилсилоксана (ПДМС)

Травление ПДМС на глубину 90 мкм, контролируемый профиль стенок (здесь 92о)