Skip

Платформа PlasmaPro800

Универсальные решения для процессов плазменного травления и осаждения:

  • PlasmaPro 800 обеспечивает процессы плазменного травления и осаждения на подложках большой площади, система выполнена в компактном корпусе с удобной открытой загрузкой, это делает её простой в использовании, без потери в качестве процесса
  • PlasmaPro 800 с диаметром столика 380 мм или 460 мм может обрабатывать пластину размером 300мм (12") или партию пластин до 43 штук размером 50 мм (2"), что позволяет использовать системы на этой платформе для серийного производства

PlasmaPro 800 RIE

Производство: Oxford Instruments Plasma Technology

Высокопроизводительная система с открытой загрузкой для процессов травления.

PlasmaPro 800 PECVD

Производство: Oxford Instruments Plasma Technology

Высокопроизводительная система плазмохимического осаждения с открытой загрузкой.