Ионно-лучевая система Ionfab 300Plus

Модульная ионно-лучевая система Ionfab 300Plus создана для проведения ионно-лучевых процессов нанесения и травления. Данная система находит применение в широком спектре приложений, в частности в микроэлектронике и при нанесении покрытий в оптике.

Система Ionfab 300Plus позволяет проводить ионно-лучевое травление и осаждение из нескольких источников. Системой реализуются следующие процессы:

• Ионно-лучевое травление/распыление (IBE/IBM);
• Реактивное ионно-лучевое травление (RIBE);
• Химически-стимулированное ионно-лучевое травление (CAIBE);
• Ионно-лучевое напыление (IBSD);
• Ионно-стимулированное напыление (IASD);
• Реактивное ионно-лучевое осаждение (RIBD).

Все процессы проводятся на пластинах диаметром от 100 мм до 200 мм. В процессах может быть использован широкий спектр материалов.