Сканирующий электронный микроскоп Quattro

Универсальный высокоразрешающий СЭМ Quattro с уникальным режимом естественной среды.



Thermo Scientific™ Quattro СЭМ сочетает в себе отличную производительность как для визуализации, так и для аналитических исследований в сочетании с уникальным режимом естественной среды (ESEM). Это отличное решение для изучения образцов в их естественном состоянии и среде.

SEM Quattro является отличным решением для тех, кто исследует в работе образцы различной природы и происхождения и хочет свести к минимуму время на их подготовку. Quattro отличается универсальностью и дает возможность быстро получать изображения и анализировать даже непроводящие и/или гидратированные образцы.

Нанохарактеризация образцов:

  • Металлы и сплавы, трещины, сварные швы, полированные профили, магнитные и сверхпроводящие материалы;
  • Керамика, композиты, пластмассы;
  • Пленочное покрытие;
  • Геологические срезы, минералы;
  • Мягкие материалы: полимеры, фармацевтические препараты, фильтры, гели, ткани, материалы растительного происхождения;
  • Частицы, пористые материалы, волокна.

Характеризация in situ:

  • Кристаллизация / фазовое преобразование;
  • Окисление, катализ;
  • Выращивание материалов;
  • Гидратация/дегидратация/смачивание/угол соприкосновения анализа;
  • Растяжение/сжатие (при нагреве и охлаждении).

В базовую комплектацию Quattro входит:

  • Высокопроизводительный SEM с FEG колонной;
  • Компьютер с 24″ LCD монитором (Windows 7);
  • CCD камера;
  • Мультифункциональный держатель на 18 (⌀12) слотов;
  • Предметный столик 110 × 110 мм, моторизированный по 5 осям;
  • Режим ESEM с вспомогательной газовой системой.

Детекторы:

  • Детектор вторичных электронов Эверхарта-Торнли (SED) для топографического контраста материалов в режиме высокого вакуума;
  • Large Field GSED (газовый детектор вторичных электронов для топографического контраста в режиме низкого вакуума;
  • LVD детектор вторичных электронов для работы в режиме низкого вакуума.

Вакуумная система:

  • Турбомолекулярный насос: 1 × 250 лит/с;
  • Форвакуумный насос: 1 шт;
  • Ионно-геттерный насос: 2 шт.

Программное обеспечение:

  • xT SEM – простой и удобный пользовательский интерфейс;
  • Smart ScanTM – функция интеллектуального сканирования;
  • DCFI – интегрированная система компенсации дрейфа;
  • Отображение результатов на экране монитора сразу с 4 детекторов (Single-frame or 4-view image display).

В зависимости от предполагаемой области применения, микроскоп может быть дополнительно оснащен:

  • Оптической камерой Nav-Cam для удобной навигации по образцу;
  • Уникальным выдвижным многосегментным детектором обратно-рассеянных электронов DBS;
  • Устанавливаемым на линзу газовым аналитическим детектором обратнорассеянных электронов DBS-GAD для режимов низкого вакуума и ESEM;
  • Уникальным выдвижным многосегментным детектором прошедших электронов STEM3+;
  • Пельтье столиком WetSTEM™ интегрированным с STEM для изучения тонких и влажных образцов;
  • Детектором катодолюминесценции RGB-CLD;
  • Внутриколонным ICD детектором для использования режима замедления пучка;
  • Специальными держателями образцов (возможен заказ держателей под нужды пользователя);
  • Системой подачи газа для нанесения пленок/сварки GIS (углерод, платина, вольфрам);
  • Наноманипуляторами и зондами;
  • Криостоликом Пельтье от -20°C до +60°C;
  • Функцией замедления пучка Beam deceleration в диапазоне от -4000В до +50В;
  • Плазменной очисткой образца/камеры Plasma Cleaner;
  • Модулем криоочистки образца CryoCleaner;
  • Системой для быстрой загрузки Quick Loader;
  • Различными анализаторами: EDS, EBSD, CL, WDS, Raman;
  • Системой рисования электронным лучом Patterning;
  • Амперметром для измерения тока на образце;
  • Акустическим кожухом для вакуумной системы;
  • Полностью безмасляного форвакуумного насоса;
  • Дополнительным компьютером/монитором;
  • Джойстиком;
  • Ручной консолью управления;
  • Системой навигации и ПО Correlative Navigation, MAPS Tilting and Stitching;
  • ПО MAPS для автоматического получения массивных изображений и их обработки;
  • ПО AutoScript4 для написания скриптов и автоматизации работы;
  • TopoMaps для характеризации изображений и 3D реконструкции поверхности;
  • ПО дополнительного анализа изображений и 3D реконструкций Avizo/Amira/PerGeos</strong;>
  • ПО для удаленного доступа и диагностики системы;
  • ПО для in situ экспериментов и контроля температурных столиков 1000°C — 1400°C, Пельтье столика -20°C — +60°C.

Камера для образцов:

  • Размер камеры: 340 мм;
  • Перемещение столика: 110*110 (x,y);
  • Вращение: n*360°;
  • Наклон: -15°/+90°;
  • Максимальный размер образца: 122 мм ⌀;
  • Порты: 12.

Рабочее ускоряющее напряжение 200В — 30кВ.

Разрешение:

  • 0,8 нм на 30 кВ (STEM) — HiVac;
  • 1 нм на 30 кВ (SE) — HiVac;
  • 2,5 нм на 3 кВ (BSE) — HiVac;
  • 3 нм на 1 кВ (SE) — HiVac;
  • 1,3 нм на 30 кВ (SE) — LoVac;
  • 2,5 нм на 30 кВ (BSE) — LoVac;
  • 3 нм на 3 кВ (SE) — LoVac;
  • 1,3 нм на 30 кВ (SE) — ESEM.

Уровень вакуума в камере:

  • (высокий вакуум) < 6 × 10-4 Па;
  • (низкий вакуум) 10 — 200 Па;
  • (ESEM) < 10 — 4000 Па.