Травление боросиликатного стекла

Оборудование: PlasmaPro100

Особенности технологии:

• рабочий газ - HF;
• реактивное ионное травление с применением источника индуктивно связанной плазмы (ICP);
• частота ВЧ источника плазмы - 13 МГц
  

Результаты:

• скорость травления: 0,2 мкм/мин;
• селективность к Cr: 30:1;
• профиль стенок: в среднем 78°
• боковые стенки: присутствует небольшая шероховатость;
• нижняя стенка: гладкая.

Лаборатория OIPT: микрофлюидный канал в стекле глубиной 15 мкм

Лаборатория OIPT: анизотропное травление стекла глубиной 10 мкм

Состав стекла:

• SiO₂ - 81%
• B₂O₃ - 9%
• Na₂O/K₂O - 4%
• Al₂O₃ - 2%

Наличие Na и K в стекле делают его сложным для травления, ввиду нелетучести их соединений, что ограничивает скорость травления.