Зависимость скорости травления от аспектного соотношения (ARDE)

Зависимость скорости травления от аспектного соотношения описание процесса и оборудование

Типичный пример ARDE эффекта при Бош-травлении Si.



Эффект зависимости скорости травления от аспектного соотношения очень часто возникает в процессах сухого травления, особенно в процессах проходящих с большой скоростью. В этих случаях скорость травления часто ограничивается скоростью доставки реактивных частиц к нижней части тренча, а также скоростью транспорта продуктов травления в обратном направлении. Есть несколько путей решения этих проблем но за счет скорости травления, селективности или качества профиля. Важно понимать этот эффект для правильного проектирования МЭМС структур.

Реактивное ионное травление Si на 10 мкм с использованием химии Cl/F:
yu01.jpg

Бош-травление Si на глубину 110 мкм без зависимости скорости травления от аспектного соотношения:
ac11.jpg

Бош-травление Si на 80 мкм:
yu03.jpg

Зависимость скорости травления от аспектного отношения
arde_1.gif

Зависимость скорости травления от ширины тренча
arde_2.gif