Получение «черного Si» сухим травлением
Черный кремний (СЭМ).
Оборудование:
Особенности технологии:
Реактивное ионное травление с или без применения индуктивно-связанной плазмы
Результаты:
 |
 |
 |
 |
|---|---|---|---|
| | | | |
Лазерный интерферометр показывает падение отражения из-за формирования "черного" кремния.