Ионно-лучевое травление оксида иттрия-бария-меди (YBCO)

Травление YBCO глубиной 1 мкм с фоторезистом при низких энергиях ионов (с благодарностью к FhG Berlin)


9282c0a17bc542d7d497f1c503f28585.jpeg
Увеличенное изображение фотографии травления YBCO на 1 мкм
FhG Berlin использует Ionfab 300 для реактивного ионно-лучевого травления высокотемпературных сверхпроводников, таких как YBCO. В основе системы лежит источник ионов Кауфмана с нитью накаливания, позднее модернизированного источником электронно-циклотронного резонанса (на сегодняшний день не рекомендуется).
1aa2553781110a40a029d15d8b4aac2a.gif
Графическая схема Ionfab 300 Plus с ВЧ источником