Атомно-слоевое осаждение нитрида гадолиния (GdN) с применением удаленного источника плазмы

 

 


G4%20GdN%20ALD%20AES.gif

Атомно-эмиссионная спектроскопия пленки GdN, осажденной в азотной плазме

(пленка GdN покрыта пленкой TaN для предотвращения окисления)

 

G4%20GdN%20ALD%20%20GRC%20vs%20temp.gif
Скорость роста пленки как функция температуры процесса с и без ассистирования азотной плазмой.

 

GdN — это ферромагнетик, проводящий материал, который может применяться в спинтронных устройствах.

Осаждение в системе OpAL
Прекурсор: Gd(MeCp)3 плюс ассистирование азотной плазмой

Dr Richard Potter

Ливерпульский Университет