Травление ниобата лития (LiNbO3)

Лаборатория OIPT: травление ниобата лития на 4 мкм (фоторезист не удален)


1. Технологические особенности реактивного ионного травления с применением индуктивно-связанной плазмы:
ВЧ управляемый нижний электрод

icp_r_ww.gif
Более высокие скорости травления и более высокая степень анизотропии может быть достигнута после плазменной обработки: протонный обмен под воздействием плотной водородной плазмы от ICP источника
Оборудование:
Результаты:

pd13.jpg pd11.jpg pd17.jpg
Лаборатория OIPT: травления ниобата лития на глубину 4 мкм

  • скорости травления > 50 нм/мин;
  • селективность к фоторезисту (на фото не удален) > 1.2 : 1
  • гладкие боковые стенки (шероховатость < 10 нм)
Этот процесс был оптимизирован для получения гладких стенок и избегания переосаждения. Возможна чуть большая шероховатость на нижней границе тренча
Лаборатория OIPT: травления ниобата лития (LiNbO3) на глубину 4 мкм

  • скорость травления > 40 нм/мин
  • гладкие боковые стенки (шероховатость < 10 нм)
  • селективность к Ni (не удалена) маска> 4 : 1
лаборатория Бристольского университета:
травление протонно-обменной мембраны из LiNbO3 на 1 мкм

  • рабочие газы — SF6/O2
  • скорость травления 200 нм/мин
  • маска — NiCr
2. Технологические особенности реактивного ионного травления:
ВЧ генератор с параллельными электродами и частотой возбуждения плазмы — 13.56 МГц;
ВЧ управляемый нижний электрод;
охлаждаемый нижний электрод
rie_www.gif
Оборудование:
PlasmaPro80

Результаты:

  • скорость травления 3 нм/мин (скорость может быть увеличена добавлением в процесс фторной химии)
  • селективность к титановой маске: 20:1
  • гладкая нижняя стенка

pd%2001.jpg

Лаборатория OIPT: травление LiNbO3 на 0.35 мкм
(Ti маска не удалена, «фасетирование» маски переносится на LiNbO3)