Травление меди (Cu) — анализ отказов

Травление меди (Cu) - анализ отказов, описание процесса и оборудование

Лаборатория OIPT: безостаточное травление Cu.

Производитель: Oxford Instruments Plasma Technology


Технологические особенности:

  • Травление с помощью ВЧ генератора с параллельными электродами и частотой возбуждения плазмы - 13.56 МГц;
  • Среда: хлорсодержащая плазма;
  • Подача рабочего газа через газовый душ.

Результаты:

  • Скорость: > 300 нм/мин;
  • Равномерность 5% (по пластине 200 мм);
  • Селективность к SiO2 1:1;
  • Безостаточное травление.