Травление меди (Cu) — анализ отказов

Лаборатория OIPT: безостаточное травление Cu


Технологические особенности:
  • травление с помощью ВЧ генератора с параллельными электродами и частотой возбуждения плазмы — 13.56 МГц
  • среда: хлорсодержащая плазма
  • подача рабочего газа через газовый душ

Результаты:

  • скорость: > 300 нм/мин
  • равномерность 5% (по пластине 200 мм)
  • селективность к SiO2 1 : 1
  • безостаточное травление