Сухое травление боросиликатного стекла
Лаборатория OIPT: анизотропное травление стекла, глубина 10 мкм
 |
 |
|---|---|
| Лаборатория OIPT: травление микрофлюидного канала глубиной 15 мкм в стекле | Лаборатория OIPT: анизотропное травление стекла, глубина 10 мкм |
Результаты:
- скорость травления: примерно 186 нм/мин
- селективность к Cr маске: > 30 : 1
- профиль: 78о
- боковые стенки: немного шероховатые
Состав боросиликатного стекла:
SiO2 — 81%
B2O3 — 9%
Na2/K2O — 4%
Al2O3 — 2%
Натрий и калий, содержащиеся в стекле, создают определенные проблемы и ограничивают скорость травления, обычно эти элементы травятся физическим распылением