Система плазмохимического травления PlasmaPro 1000 Astrea Etch

Система плазмохимического травления PlasmaPro 1000 Astrea Etch купить в Техноинфо

Система плазмохимического травления PlasmaPro1000 Astrea предлагает решения для всех обоснованных требований LED индустрии: высокая производительность; высокое качество продукции; низкая себестоимость продукции



Система создана для работы с агрессивной химией, требуемой для получения LED материалов. PlasmaPro1000 Astrea обеспечивает высокую скорость травления и хорошую равномерность по пластинам, обрабатываемых в одной загрузке. Система создавалась с целью увеличения времени непрерывной работы и обеспечению удобства в эксплуатации.

Технологические особенности системы:

  • 490 мм электрод обеспечивает высокую выработку продукции, есть возможность обработки партии пластин 7 x 6”;
  • высокие качество продукции и выход годной продукции;
  • два места подачи рабочего газа в камеру для широкой возможности настройки процесса;
  • надежное техническое обеспечение и простота в обслуживании позволяют максимизировать время эксплуатации;
  • низкая себестоимость продукции;
  • шлюзовая камера в стандартной комплектации, открытая загрузка и возможность кластеризации - опционально;
  • система спроектирована с учетом минимального загрязнения верхних деталей системы;
  • движущийся электрод для получения превосходной равномерности.

Основными процессами для этой системы являются травление GaN, AlGaInP и сапфира:

Травление сапфира (Al2O3)

_.jpg

Травление нитрида галия (GaN)

_.jpg